Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 855SS #9179093 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9179093
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2003
Oxide etcher, 8"
Missing parts:
UPS
V2 Control rack power supply
Currently de-installed
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity II 855SS ist ein Ätzer/Ashrer der nächsten Generation, der für die anspruchsvollsten industriellen Anwendungen entwickelt wurde. Das Gerät ist ein zuverlässiger und effizienter Ätz-/Aschevorgang für Feinlinienmerkmale und Halbleiterprodukte. Es verfügt über eine intuitive menschliche Oberfläche mit benutzerfreundlichen Programmen und einen optimierten Farbmonitor zur präzisen Steuerung des Ätz-/Ascheprozesses. Der Prozess kann effektiv an Komponenten bis zu 0,25 Mikron arbeiten und ist in der Lage, bis zu 150 mm Wafer zu ätzen/zu aschen. Es ist mit einem Hochleistungs-Trockenluftglühsystem mit 500m3/sec für effektive Wärmebehandlungen sowie mit einer voll funktionsfähigen, automatisch reagierenden Wafer-Transporteinheit ausgestattet. Das Niederspannungs-Ätzen/Aschen der Maschine erzeugt qualitativ hochwertige geätzte/ascherige Muster mit minimalem Materialverlust und verfügt über ein schnelles Schalten von Ätzmitteln/Aschern und Regimen für eine verbesserte Produktivität. Das Tool beinhaltet ein erweitertes Diagnoseprogramm zur genauen Fehlerermittlung und Stammdaten für Wafer-Rückruf, so dass die Produktion schnell und effizient wieder aufgenommen werden kann. Darüber hinaus verfügt das Gerät über hochgenaue E-Gun und B-Gun Steuerungsfunktionen sowie Strahlabgabesteuerungen für schnellere Prozesszyklen. Insgesamt ist TEL Unity II 855SS ein zuverlässiges und effizientes Ätz-/Aschermittel, das qualitativ hochwertige Feinlinieneigenschaften und Halbleiterprodukte effektiv herstellen kann.
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