Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 85DD #188831 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 188831
Dry Etch/Oxide, 8"
SMIF Interface Ready
Software version: 3.00 Rev 206-PMS-3.11a
Chambers:
PM 1: Unity II 85 DRM Oxide Etch
ESC Type: Ceramic
Process Kit Material: Quartz
Lower RF: ENI OEM-25B
Turbo: Ebara ET600WS
PM 2: Unity II 85 DRM Oxide Etch
ESC Type: Ceramic
Process Kit Material: Quartz
Lower RF: ENI OEM-25B
Turbo: Ebara ET600WS
Process Kit:
Botttom Electrode: 1D10-100582-14
Upper Electrode: 1D10-201429-15
Focus Ring: 1D10-302209-14
Plate Baffle: 1D10-100854-14
Shield Depo: 1D10-303124-16
Ring Insulator: 1D05-300052-13
Cover Bellows: 1D10-200734-14
Chiller: SMC INR499-201
1997 Vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity II 85DD ist eine Aschen-/Ätzvorrichtung zum Reinigen, Texturieren und Ätzen von Siliziumscheiben in Halbleiterherstellungsprozessen. Das System ist so konzipiert, dass es präzise, wiederholbare Ergebnisse für Anwendungen wie Reinigung und Ätzen sowie für Mikrobearbeitungsanwendungen liefert. Mit TEL Unity II 85DD können Anwender Prozesse entweder über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) oder eine leistungsstarke Befehlssprache programmieren. Das Gerät verfügt über einen 8,5-Zoll-Vollfarben-SVGA-Touchscreen, der eine einfache Bedienung und Programmierung ermöglicht. Die Einheit verfügt über vier unabhängige Prozesskammern, die mit der Basiseinheit verbunden sind und eine effiziente Mehrkammer-Waferbearbeitung ermöglichen. Die Kammern haben eine maximale Betriebstemperatur von 400 ° C und sind für trockene und nasse Prozesse ausgelegt. TOKYO ELECTRON UNITY II 85 DD bietet eine breite Palette von Prozessfähigkeiten, einschließlich Plasmaätzen, Metalloxid/Wasserstoffätzen, Ätzen von Polymeren und Resistfilmen. Die Maschine verfügt auch über integrierte Gas-Handling-Funktionen mit Low-Flow-automatische Gasumschaltung, um chemische Abfälle zu minimieren. UNITY II 85 DD bietet präzise Prozesssteuerung mit 6-Achsen-Genauigkeit und Kontrolle. Benutzer können Rezepte in Echtzeit programmieren und überwachen, so dass die Prozesse in der Mitte des Laufs schnell geändert werden können. Werkzeugdaten können digital für die einfache Interpretation der Ergebnisse exportiert werden, und TEL UNITY II 85 DD verfügt über automatische Tuning-Funktionen, um Einstellungen für maximalen Durchsatz und Wiederholbarkeit der Ergebnisse zu optimieren. Neben der Standardkonfiguration kann das Gerät mit einer Vielzahl von Zubehör und integrierten Technologien ausgestattet werden. Unity II 85DD ist kompatibel mit einer Reihe von Endeffektoren, einschließlich Bürsten, Magneten, Pinzetten und Düsenverteilern. Integrierte Optionen wie automatisches Wafer-Handling, automatisiertes Gashandling und automatische Druckregelung verschlanken weitere Prozesse. Insgesamt bietet TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 85 DD ein leistungsstarkes, einfach zu bedienendes Ätz- und Reinigungsmittel für eine Vielzahl von Anwendungen. Es ist auf präzise Spezifikationen mit integrierten motorisierten Stufen und einer intuitiven grafischen Oberfläche aufgebaut, mit der Benutzer Prozessabläufe schnell und einfach programmieren und ausführen können. Mit automatisierten Handhabungsoptionen und fortschrittlichen Prozessfähigkeiten ist das Gerät eine ideale Lösung für Hersteller jeder Größe.
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