Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 85DRM #9112879 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity II 85DRM ist ein Ätzer/Ascher zur Abscheidung und Ätzung einer Vielzahl von Materialien auf Substraten. Das Gerät verwendet zwei Sätze von reaktiven Gasen: Niederdruckbereich (LPA) zum Ätzen und Hochdruckbereich (HPA) zum Abscheiden, die beide durch eine endseitige Ultrahochvakuumkammer bereitgestellt werden. Der Innendruck der Kammer wird gesteuert, um sicherzustellen, dass chemische Reaktionen mit der idealen Geschwindigkeit und Temperatur auftreten. Das System nutzt zwei unabhängige Prozessmodule, um eine effektive Materialbearbeitung zu ermöglichen. Das erste Modul, ein E-Strahl-Verdampfer, arbeitet in einem breiten Bereich von Drücken und Temperaturen, um Mehrschichtfolien von nur wenigen Nanometern Dicke auf den Substraten abzuscheiden. Der E-Strahl-Verdampfer ist in der Lage, Metalle, Oxide und Dielektrika oder Materialien abzuscheiden, die weiteren und komplexen Behandlungen unterliegen können. Das zweite Modul, eine integrierte Endstation, besteht aus einem Satz physikalischer und chemischer Ätzwerkzeuge wie Plasmaätzen, Sputterätzen, Ionenfräsen und Sputterätzen mit kaltem Plasma. Plasmaätzen, auch als chemische Dampfabscheidung (CVD) bekannt, verwendet hochenergetische Ionen, um chemische Bindungen zu brechen und ein Plasmafeld zu schaffen, das auf das gewünschte Material zugeschnitten werden kann. Beim Sputterätzen wird das Material durch Anlegen eines elektrischen Hochspannungsfeldes erodiert. Ähnlich wirken Ionenfräsen und Sputterätzen mit kaltem Plasma, außer bei wesentlich niedrigeren Temperaturen. Die TEL UNITY II 85DRM beinhaltet zudem mehrere zusätzliche Funktionen, wie mehrere Prozessdüsenkonfigurationen, Prozesssteuerungs- und Waffensteuerungssysteme sowie ein Bewegungssteuerungssystem. Die Prozessdüsenkonfiguration kann verwendet werden, um die Anzahl und Art der Löcher sowie den Abstand zwischen ihnen zu konfigurieren, so dass Benutzer Linien, Kreise oder andere Strukturen erzeugen können. Die Prozess- und Pistolensteuerungssysteme ermöglichen es Benutzern, die Prozessparameter so einzustellen, dass Material in einem gewünschten Muster genau abgeschieden wird, während das Bewegungssteuerungssystem zwei lineare Achsen bereitstellt, die eine präzise Bewegung der Substrate während der Verarbeitung ermöglichen. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON UNITY II 85 DRM ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug für Ätz- und Beschichtungsprozesse und bietet Anwendern eine Reihe von Funktionen, die ihnen helfen, genaue und zuverlässige Prozesse durchzuführen. Mit seinen zwei unabhängigen Modulen eignet es sich gut zum Erstellen und Mustern von Nanostrukturen und ist eine ausgezeichnete Möglichkeit, Zeit und Kosten zu sparen.