Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #159332 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity II (TEU) ist ein fortschrittlicher Ascher/Ätzer mit einer Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiter- und Nanotechnologieherstellung. Es ist in der Lage, qualitativ hochwertige einheitliche Ätzprozesse bereitzustellen und bietet ein Maß an Prozessflexibilität und Durchsatz. Das TEU verfügt über eine Vakuumkammer mit einem 2,75-Zoll-kreisförmigen Prozessfenster und kann zwei 6-Zoll oder 8-Zoll-Waferboote aufnehmen. Die Temperatur der Prozesskammer kann zwischen Umgebungs- und 350 ° C gesteuert werden, was eine Vielzahl chemischer Prozesse ermöglicht. Das TEU verfügt zudem über eine heliumfreie Kühlkonfiguration, die es ideal für chemische Prozesse bei niedrigen Temperaturen und zur Verhinderung von Waferschäden macht. Das EUV verwendet ein CVD-Verfahren (Chemical Vapor Deposition), bei dem gasförmige Reagenzien über die Werkstückoberfläche geleitet werden, um einen dünnen Materialfilm abzuscheiden. Die Atmosphärendruck-CVD-Prozesse im EUV können jederzeit mit bis zu 6 Wafern im Prozess betrieben werden. Das Ätzgasfördersystem des EUV sorgt für eine gleichmäßige Versorgung mit Ätzgas für schnelles und gleichmäßiges Ätzen, was zu qualitativ hochwertigen Ätzen und geringen Partikelemissionen führt. Das TEU verfügt über ein innovatives Onboard-Softwaresystem, mit dem der Prozess von Anfang bis Ende gesteuert und überwacht werden kann. Es enthält eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche, mit der Benutzer schnell Parameter einstellen und den Prozess für eine bestimmte Anwendung optimieren können. Die Software ermöglicht auch die Fernbedienung des TEU von einem vernetzten PC aus, was eine komfortable Überwachung des Ätzprozesses ermöglicht. Das TEU ist ein vielseitiges, langlebiges und kostengünstiges System zum Ätzen unterschiedlichster Substrate. Es eignet sich ideal für Anwendungen wie das Ätzen von Musterscheiben und die Erforschung fortschrittlicher Technologien wie der Nanotechnologie. Seine ausgezeichnete Ätzleistung, robuste Software und erschwinglicher Preis machen es zu einer attraktiven Option für Praktiker in vielen Disziplinen.