Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #9105196 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity II ist ein Ätzer/Ascher, der für Plasmaätz- und Ascheprozesse verwendet wird. TEL Unity II verfügt über eine patentierte Schildkammer, die ein enges Gleichgewicht von Ionen, Elektronen und neutralen Partikeln beim Ätzen und Aschen ermöglicht. Dies gewährleistet einen präzisen Ätz- und Aschevorgang ohne zusätzliche Rückführung von Gasen oder organische Kontamination. Das Gerät ist auch hocheffizient und verwendet ein optimiertes Plasmasystem, um eine höhere Gleichmäßigkeit von Ätzen und Aschen zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON Unity II ermöglicht eine vielseitige Prozesssteuerung, einschließlich der automatischen Steuerung von Kammerbedingungen, DC-Vorspannung, Prozesszeit, Druck und Gasströmungsverhältnissen. Dies hilft, Rätselraten zu beseitigen und sorgt für konsistente Ergebnisse während des Ätz- und Aschezyklus. Die Einheit schließt auch eine aktive Raumverunreinigungsüberwachungsmaschine ein, die hilft, unnötige Prozessabweichung wegen der Partikelnabsetzung auf den Raumwänden zu verhindern. Unity II wurde entwickelt, um sowohl Plasmaätz- als auch Ascheprozesse gleichzeitig zu steuern, sodass der Benutzer Parameter anpassen und beide Prozesse gleichzeitig betrachten kann. Dies hilft, Ablenkungen zu vermeiden und ermöglicht einen optimalen Ablauf des Prozesses. Darüber hinaus sind eine präzise Steuerung des Luftmassenstroms, Filterung von Luftpartikeln, Ätz-/Aschemischzahlen und Argonätzrate mit TEL/TOKYO ELECTRON Unity II. TEL Unity II möglich. Es beinhaltet eine optische Emissionsspektroskopie (OES), die die Emissionsraten automatisch regelt, indem die Stromversorgung bei zu hoher Emission abgeschaltet wird. Darüber hinaus wurde TOKYO ELECTRON Unity II entwickelt, um Streumagnetfelder zu minimieren, indem Streumagnetpartikel automatisch hinterfragt und verhindert werden, dass sie durch die Prozesskammer gelangen. Insgesamt ist Unity II ein zuverlässiger und effizienter Ätzer/Ascher mit einer Vielzahl von Prozesssteuerungsfunktionen. Seine Vielseitigkeit, Sicherheit und Konsistenz machen es zu einer idealen Maschine für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen.