Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP #293793647 zu verkaufen

ID: 293793647
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1996
Oxide etcher, 6" Wafer type: Flat (7) Gas lines Gases: CF4, CHF3, Ar, N2 DAIHEN MFG-20SA3 RF Generator FUJIKIN Manual valve (3) MILLIPORE WG2FT1RR2 Filters (2) VERIFLO SQ60502PFSMM Regulators VERIFLO SQ140E502PFSMM Regulator KURODA B35-2G Regulator NKS Pressure gauge NAGANO KEIKI CB14 Pressure switch Pneumatic valve: CKD AVB21-X0038-FL Vacuum valve FUJIKIN General protective valve VAT 26332-KA71-1001/345 Isolation valve Gas box: Size: 100 Φ Range: 100 CFM 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity ist ein fortschrittlicher Ascher/Ätzer, der für die Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Es enthält eine patentierte Plasmaerzeugung, die Gleichmäßigkeit und Präzision beim Ätzen fördert. Darüber hinaus verfügt TEL Unity über ein proprietäres dreistufiges Ätzverfahren, das aus einer Oxidätzung, einem Resiststreifen und einem abschließenden passiven Zyklus besteht. Die fortschrittliche Technologie, die diese Maschine antreibt, erhöht den Durchsatz und minimiert Ausfallzeiten aufgrund von Wartungsarbeiten. TOKYO ELECTRON Unity verfügt zudem über ein automatisiertes Lastschloss, das eine schnellere Verarbeitung ermöglicht. Dies wird durch ein kombiniertes Z-stufiges und automatisiertes Waferkassettenmagazin ermöglicht, das eine sichere Umgebung bietet und Prozessrezepte für wiederholtes Laden im Speicher hält. Unity ermöglicht auch eine schnellere Beladung von sechs Kassetten gleichzeitig. TEL/TOKYO ELECTRON Unity umfasst erweiterte Prozesssteuerungs- und Automatisierungsfunktionen sowie Überwachungssysteme, um Prozesskonsistenz und Wiederholbarkeit sicherzustellen. Es unterstützt auch Prozess-Tuning, beschleunigte Hochlaufzeit und neue Prozess-Setup. Dies ermöglicht erhebliche Zeit- und Energieeinsparungen bei der Entdeckung und Raffination von Prozessen. Die fortschrittliche Ionenimplantationsfunktion von TEL Unity ist in der Lage, Ionen genau in dünne Filme zu implantieren. Dies ermöglicht eine präzise Kontrolle des Dotierungsprozesses, was zu einer höheren Qualität der Geräteausbeute im Endprodukt führt. Die fortschrittliche horizontale Plasmaquelle von TOKYO ELECTRON Unity ermöglicht auch das gleichzeitige Ätzen an mehreren Prozesspunkten. Die Software von Unity besteht aus einem einfach zu bedienenden Prozessrezeptmanagement-System und einem statistischen Prozesskontrollsystem (SPC), das die Wiederholbarkeit und Qualität der Prozesse verbessert. TEL/TOKYO ELECTRON Unity wird von der von TEL entwickelten Imagine-Plattform angetrieben. Diese Plattform verfügt über intuitive grafische Benutzeroberflächenelemente (GUI), wodurch Prozesse einfach programmiert und überwacht werden können. TEL Unity kann maximale Wafergrößen von 300 mm verarbeiten und verfügt über eine Reinraumklasse der Klasse 100. Spezialisierte Konstruktion und industrielle elektrische Komponenten reduzieren das Risiko von Kontaminationen erheblich und erleichtern die schnelle Wiederherstellung von Stromausfällen. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON Unity ein fortschrittlicher Ascher/Ätzer, der entwickelt wurde, um einen erhöhten Durchsatz zu erzielen und die Wartung langfristig zu reduzieren. Die patentierte Plasmaerzeugung, der dreistufige Ätzprozess, die automatisierte Lastsperre und die robuste Prozesssoftware ermöglichen zuverlässige Prozesse mit höherer Qualität und Erträgen. Unity verfügt auch über mehrere erweiterte Funktionen wie Ionenimplantation, automatisierte Waferkassetten und SPC-System, was es Ingenieuren erleichtert, Prozesse zu programmieren und zu überwachen.
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