Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP #293796082 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP ist eine Art Ätzer/Ascher zur Abscheidung dünner Filme auf verschiedenen Substraten. Es ist eine große, industriell fähige Maschine mit vierfacher Endpunktdetektion. Es ist eine gute Wahl für Anwendungen, bei denen eine sehr präzise Dünnschichtabscheidung erforderlich ist. TEL Unity IIe 655PP hat eine große Kammer, ca. 18 „x30“ (45 cm x 76 cm) und verfügt über eine Doppelkammer-Konstruktion, die eine gleichzeitige Abscheidung in beiden Kammern ermöglicht. Ein Quarzrohrofen (angetrieben von vier 500W IR-Lampen) heizt jede Kammer auf Temperaturen bis zu 500 ° C, und die Rückseite der Maschine beherbergt eine spezielle Spule, die eine Substrat-Vorspannung von bis zu -100 Volt liefert. TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP verwendet ein ausgeklügeltes Endpunktdetektionssystem. Es kombiniert einen vierfachen Endpunktdetektor (QED) mit einem digitalen Bildprozessor (DIP), die beide in den Controller der Maschine eingebettet sind. Das QED verwendet vier Infrarot-Detektoren in der Quarzröhre, um Filmdicke und Gleichmäßigkeit zu überwachen, während das DIP Bilder analysiert, die von einer speziellen Kamera in der Kammer aufgenommen wurden. Dies ermöglicht eine hochpräzise Dünnschichtabscheidung und kann Wissenschaftlern wertvolle Rückmeldungen zur Qualität des Ätz- oder Ascheprozesses geben. Einheit IIe 655PP hat auch die Fähigkeit, Plasmaätzen mit Hilfe einer in die Kammer eingebauten Plasmaquelle durchzuführen. Eine Besonderheit dieser Maschine ist die Spike-ID: eine fortschrittliche, proprietäre Ätztechnologie, die eine präzise Erstellung kleiner Strukturen oder Merkmale sowie Strukturen mit hohem Seitenverhältnis ermöglicht. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP ein ausgezeichneter Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Anwendungen. Sein ausgeklügeltes Endpunktdetektionssystem und die Fähigkeit, sowohl Dünnschichtabscheidung als auch Plasmaätzen durchzuführen, machen es zu einer guten Wahl für ultrapräzise Anwendungen, die hohe Präzision und kleine Strukturen erfordern.