Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UNITY IIE 845DD #9377255 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 845DD ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für Siliziumwafer in der Mikroelektronikindustrie. Es wurde entwickelt, um Siliziumscheiben mit hoher Präzision und Genauigkeit zu ätzen und zu aschen. Der 845DD Ätzer/Ascher verwendet einen 3-Achsen (x-y-z) Roboter zur automatisierten Wafer-Manipulation. Es verwendet eine präzise Wafer-Manipulator-Robotik mit drei hochauflösenden linearen Stufen, um die genaue Übertragung von Wafern zwischen der Prozesskammer und mehreren Wafer-Pods sowie die präzise, schnelle Manipulation von Wafern in der Prozesskammer zu ermöglichen. Die Wafer-Pods bieten eine sichere und stabile Umgebung für Wafer während der Verarbeitung. Der 845DD Ätzer/Ascher ist mit einer aktiven Kühleinrichtung und einem effizienten Heizsystem sowohl für die Wafer-Prozesskammer als auch für die Wafer-Pods ausgestattet. Die aktive Kühleinheit verfügt über eine Temperaturregelung mit einer Genauigkeit von 0,1 ° C und ist in der Lage, sowohl die Wafer-Prozesskammer als auch die Wafer-Pods in wenigen Minuten auf eine Temperatur von -15 ° C zu kühlen. Die Heizmaschine verfügt über eine Zweizonen-Temperaturregelung und ist in der Lage, die Wafer-Prozesskammer schnell auf die gewünschte Solltemperatur aufzuheizen. Der 845DD Ätzer/Ascher ist auch mit fortschrittlicher 3D-Resist-Bildgebungsfähigkeit ausgestattet. Diese Fähigkeit besteht aus Laserätzen, mit denen ein 3D-Resist nicht planar gemustert wird, wodurch eine komplexe 3D-Struktur auf dem Wafer entsteht. Der 845DD Ätzer/Ascher verfügt auch über erweiterte Rezeptmanagement-Funktionen für eine schnellere Prozessentwicklung und -optimierung. Der 845DD Ätzer/Ascher ist in der Lage, mehrere Wafer gleichzeitig zu verarbeiten, wobei die Prozesszeit von der Art des Wafers und den gewünschten Prozessergebnissen abhängt. Je nach Anwendung kann es Esche/Wafer mit lateraler oder Tiefenauflösung so klein wie 1nm ätzen. Der 845DD Ätzer/Ascher ist zudem mit einem zuverlässigen Sicherheitswerkzeug und einer robusten Überwachungseinrichtung ausgestattet, um einen reibungslosen und fehlerfreien Betrieb zu gewährleisten. Insgesamt bietet TEL UNITY IIE 845DD einen zuverlässigen, hochpräzisen Ätzer/Ascher für die Mikroelektronikindustrie. Es verfügt über fortschrittliche Robotik und eine breite Palette von Ätz- und Aschefähigkeiten, so dass es ein geeignetes Werkzeug für die Herstellung komplexer 3D-elektronischer Geräte ist.