Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85 DPATC #9091881 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 85 DPATC ist ein plasmaverbesserter reaktiver Ionenätzer (PE-RIE), der für die Herstellung von Halbleiterbauelementen und andere verwandte Industrien entwickelt wurde. Das Gerät ist so konzipiert, dass es maximale Leistung, Genauigkeit und Wiederholbarkeit für das Ätzen von Wafern oder anderen Werkstücken bietet. Die Unity IIe 85 verfügt über eine präzise Hochvakuumkammer, einen Hochleistungsdurchsatztransport und ein fortschrittliches Steuerungssystem. Die Kammer ist beschichtungsbeständig und auf Langzeitsicherheit und hochpräzises Ätzen ausgelegt. Die Unity IIe 85 PE-RIE verfügt über eine großraumige 3-achsige Transporteinheit mit einer maximalen Temperatur von 450 ° C. Diese horizontale Transportmaschine bietet präzisen Wafertransport und Positionierung unter Beibehaltung einer gleichmäßigen, konstanten und wiederholbaren Ätzrate über den Wafer. Die Kammer sorgt auch für eine präzise Druckregelung, wodurch sichergestellt ist, dass die Prozessparameter varianzlos eingehalten werden. Die Ätzrate kann in Echtzeit eingestellt werden, wodurch die Parameter des Ätzprozesses präzise gesteuert werden können. Der Ätzprozess wird mit dem Unity IIe 85 automatisiert und vereinfacht den Prozess, um wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten. Das Tool ist mit der Funktion Offline-Parameter-Setup ausgestattet, mit der die Daten für jeden Ätzprozess eingegeben und optimiert werden können, bevor Wafer geladen werden. Der Ätzvorgang wird dann innerhalb der Kammer mit einer Echtzeit-Überwachungseinrichtung überwacht und eingestellt, die sowohl kammerintern als auch fernüberwacht werden kann. Der Unity IIe 85 verwendet fortschrittliche Steuerungstechnologie, um seine hohe Präzision und Wiederholbarkeit zu erhalten. Das Modell verwendet einen HF-Generator, um das Plasma zu erzeugen, das dann durch eine Vielzahl von Parametern wie Druck, Temperatur, Gasfluss und Strom geregelt wird. Das Gerät verwendet auch einen IIe-Regler, um die Induktivität des HF-Generators einzustellen. Das Unity IIe 85 ist ein fortschrittliches, zuverlässiges PE-RIE-System für den Einsatz in der Halbleiterherstellung und verwandten Industrien. Es bietet das höchste Maß an Leistung, Genauigkeit und Wiederholbarkeit und ist in der Lage, automatisierte Ätzprozesse mit Echtzeit-Überwachung und -Kontrolle, so dass Benutzer das höchste Maß an Präzision und Produktionsdurchsatz zu erreichen.