Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293759382 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine für den Umgang mit mehreren Substraten und Prozessen. Mit einer vollen 7-Zoll-Platte ist das System in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu acht Zoll aufzunehmen und bietet kostengünstige Prozessflexibilität für eine Vielzahl von Anwendungen. Darüber hinaus ermöglicht die programmierbare Plattenkonfiguration eine schnelle und einfache Einrichtung für alle Prozessanforderungen. Das robuste, zuverlässige Design von TEL UNITY IIE 855 DD umfasst eine Edelstahl-Innenraum, erweiterte Prozesssteuerungsmodule, Temperaturdosierung, AMAT-Modell 855DD Typ HF-Quelle, Gleichstromquelle, tiefe Ätzfähigkeit, PECVD Hochleistungsquelle und zusätzliche Handhabungs- und Ätzwerkzeuge. Das Gerät ist außerdem mit einem Kassettenlader im offenen Rahmen im 20-Schlitz-Stil mit optionalem Barcode-Leser und einer manuellen parallelen Ladeoption ausgestattet; und eine Mehrgasliefereinheit mit Gasflussüberwachern, Druckregelung und -steuerung und Massenstromreglern. Die Maschine verfügt über ein hochgenaues, fortschrittliches Prozesskontrollwerkzeug, mit dem Benutzer Druck-, Temperatur- und Vorspannungssollwerte präzise einstellen und aufrechterhalten können. TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD bietet auch Abgassteuerung, NFC sauberes Öffnen und Schließen sowie einen vorsorglichen „Abbruch“ -Knopf zum Schutz vor unbeabsichtigten Prozessstarts oder Geräteschäden. Darüber hinaus verfügt die Anlage über einen integrierten programmierbaren Schutz, um die Sicherheit des Prozesspersonals und der Ausrüstung zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON UNITY II E- 855DD bietet bis zu zwei Monitore, mit denen Benutzer Temperatur, Druck und andere Prozessüberwachungsparameter während der Verarbeitung verfolgen können. Das Modell verfügt über eine integrierte Rezeptspeicherausrüstung, mit der Benutzer bis zu 128 einzigartige Rezepte gleichzeitig speichern und zurückrufen können. Dieses System beinhaltet auch einen 10-einstellbaren Druckregler zur Optimierung des Ätzprozesses sowohl für die Einzelwafer- als auch für die Chargenverarbeitung. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD ist in der Lage, eine Vielzahl von Daten zu erfassen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf Ätzkammer Zeit, Druck und Temperatur Sollwerte, sowie andere Echtzeit-Daten aus Wafer-Bildaufnahme, Dünnschichtmessungen, und Photoresists. Diese Daten können zur Analyse gesammelt und gemeldet werden. Das Gerät bietet auch eine integrierte Health Monitoring Machine (HMS) für die kontinuierliche Überwachung und Kühlung Werkzeugwartung. Zusammenfassend ist TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD ein Etch/Asher-Asset mit einer breiten Palette an intermediären und erweiterten Prozessfähigkeiten. Mit einer robusten Edelstahlkammer, umfassender Filtration, fortschrittlicher Busüberwachung und zusätzlichen Sicherheitselementen ist das Modell hocheffizient und zuverlässig und bietet gleichzeitig Kosteneffizienz.