Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9219373 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD ist ein fortschrittliches Nassätz- und Ascherwerkzeug zur Verarbeitung von Halbleiterscheiben und anderen Substraten. Dieses Tool ist in der Lage, Ätz-, Asche- und eine Vielzahl anderer verwandter Prozesse durchzuführen. Das 855DD ist mit einem vollautomatisierten, integrierten System zur Steuerung der Prozessumgebung, Optimierung der Ätzbedingungen und Überwachung der Wafer-Gleichmäßigkeit ausgestattet. Das 855DD ist ein vielseitiges Werkzeug, das in der Lage ist, eine Vielzahl von Prozessen durchzuführen, wie tiefe reaktive Ionenätzung (DRIE), chemische Naßätzung, Flusssäure (HF) etch, RIE/etch/asche, Nassasche und Ionenmahlung. Das 855DD beinhaltet Kantentechnologie wie die Feldemissionsrasterelektronenmikroskopie (FESEM) zur Überwachung und Kontrolle der Prozesskammerumgebung und der Waferuniformität. Zusätzlich können die 855DD Ätzwerkstoffe bis zu 400 ° C erwärmt werden, um den Ätzprozess zu erleichtern. Das 855DD verfügt außerdem über vier automatische Prozessvoreinstellungen, die eine einfache Einrichtung und Benutzerfreundlichkeit ermöglichen. Das 855DD ist speziell für die Implementierung von Ätz- und Ascheprozessen in einem integrierten System konzipiert. Diese Integration gewährleistet bestmögliche Ergebnisse aus dem gesamten Ätz- und Ascheprozess. Das 855DD umfasst eine breite Palette von Prozessoptionen, die eine enge Kontrolle über mehrere Prozessparameter ermöglichen, um gewünschte Ergebnisse zu erzielen. Es ist mit einer automatischen Brücke ausgestattet, die die Gleichmäßigkeit des Oxidations- und Ätzprozesses überwacht und steuert. Das 855DD ist ein vielseitiges Werkzeug, das in einer Vielzahl von Halbleiterprozessen eingesetzt werden kann. Es ist aufgrund seiner integrierten Prozesssteuerungsumgebung, Hightech-Funktionen und Automatisierungsfunktionen bemerkenswert effizient. Dieses Ätz- und Ascherwerkzeug liefert zuverlässige Ergebnisse, die zur Maximierung der Effizienz und zur Reduzierung der Fertigungszyklen beitragen. Das 855DD ist in der Lage, sowohl Nass- als auch Trockenätzen und Ascheoperationen durchzuführen, indem es verschiedene Waferätz- und Ascheprozesse konfiguriert, um den speziellen Anforderungen verschiedener Anwendungen gerecht zu werden.