Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9246928 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD ist ein Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Anwendungen in der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist ein vertikal ladender Ätzer/Ascher, der qualitativ hochwertige Ätzmuster und Ascherätzprofile herstellen kann. Sein fortschrittliches Design wurde entwickelt, um maximalen Durchsatz und einheitliche Prozessbedingungen zu bieten, um die höchste Gerätesicherheit zu gewährleisten. TEL UNITY IIE 855 DD verwendet einen gepulsten ReverseTransformer (PRT), um eine maximale Resonanzätzleistung zu erzielen. Es ist mit TLD32 Process Control Software (PCS) ausgestattet, die genaue und wiederholbare Prozesszyklen für optimale Ätzprofile und Ascherergebnisse gewährleistet. TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD enthält auch ein Vakuum Gate (VG), das es ermöglicht, den Kammerdruck bei Ätz- und Aschevorgängen exakt aufrecht zu erhalten. Unity IIe 855DD ist mit vielen erweiterten Funktionen ausgestattet, um eine wiederholbare und zuverlässige Verarbeitung zu gewährleisten. Dazu gehören eine hochwichtige Kammer mit Gasverteilungssystem, eine fortgeschrittene thermoelektrische Kühlschleife und eine zweidimensionale Endpunktdetektion. Die Kammer ist auch von einem Edelstahlbalgsystem umgeben, um Druckschwankungen zu reduzieren. Der Kammerdruck wird auch in einem Drehmassendurchflussmesser überwacht. TOKYO ELECTRON UNITY II E- 855DD ist in der Lage, Substrate bis zu einer Größe von 783mm x 858mm zu handhaben. Es wurde entwickelt, um ein konsistentes Prozessfenster und Durchsatz für maximale Effizienz zu bieten, mit Ätzmustern von 40 µm bis 600 µm in der Tiefe. Der Ätzer/Ascher wird auch mit einem großen Wafer-Ladesystem ausgestattet, wodurch mehrere Rezepte unterstützt werden, die für jede Anwendung optimiert sind. UNITY II E-855DD wurde entwickelt, um die höchsten Standards der Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit in der Geräteherstellung zu erfüllen. Es arbeitet bei einer maximalen Temperatur von 850 ° C und einem Prozessdruck von bis zu 10 mTorr. Der Ätzer/Ascher wird sowohl mit RS-232 als auch mit IEEE-488.2 Schnittstellen für Fernbedienung und Datenverfolgung geliefert. Der Ätzer/Ascher kann auch mit den neuesten Steuerungs- und Diagnosesystemen aufgerüstet werden. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E- 855DD ist eine fortschrittliche und zuverlässige Ätz-/Ascher-Lösung für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Es wurde entwickelt, um einen hohen Durchsatz und Konsistenz für die besten Ergebnisse zu bieten. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und Systeme ermöglichen es ihm, die strengen Anforderungen der Halbleiterherstellung zu erfüllen. Dieser Ätzer/Ascher ist in der Lage, hochwertige Materialmuster und Prozessprofile unter Beibehaltung seiner überlegenen Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit herzustellen.