Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DP #293645124 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DP ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine für die Herstellung von mikroelektronischen Geräten. Das System verfügt über viele erweiterte Funktionen, die es von seinen Wettbewerbern unterscheiden. Es ist auf optimale Effizienz und Durchsatz ausgelegt, indem es einen verstellbaren Waferlift mit einer Prozesssteuereinheit integriert, die automatische Anpassungen zur Optimierung der Filmwachstumshomogenität ermöglicht. Die Maschine hat auch eine große Kammergröße, die mehr Flexibilität und Arbeitsraum für die Bearbeitung größerer Wafer bietet. TEL Unity IIe 855DP verfügt über einen einzigartigen Zweifrequenzätzprozess, der es ermöglicht, sowohl bei hohen als auch bei niedrigen Frequenzen zu ätzen, wodurch die Notwendigkeit mehrerer Ätzer entfällt. Diese Funktion gewährleistet eine vollständige Ätzgleichmäßigkeit auf verschiedenen Wafergrößen und ermöglicht gleichzeitig einen höheren Durchsatz. Darüber hinaus ist die Software des Tools vielseitig einsetzbar und kann je nach Anwendung individuelle Rezepte aufnehmen. TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 DP ist in der Lage, hochwertige Filme bei schnellen Verarbeitungsgeschwindigkeiten zu ätzen. Es kann Filme bis zu 8 „im Durchmesser und 8“ in der Dicke in nur 3,5 Minuten pro Wafer ätzen. Die Anlage ist auch mit zahlreichen Prozessgasen, wie CF4, CHF3, SF6, Ar/N2 und He/N2 kompatibel, wodurch verschiedene Materialien geätzt werden können. Es hat auch ein Hochstromdesign (bis zu 500A) und ein präzises passendes Netzwerk, um Hochfrequenzrauschen im Film zu reduzieren. Das Modell umfasst auch eine Vielzahl von Sensoren, wie einen Wirbelstromsensor, einen Ionenmesser, eine Dual-Druck-Ionisationskammer und eine digitale Kapazität-EV-Ausrüstung zur Messung der Dosisrückmeldung aus dem Ätzprozess. Dies ermöglicht genaue Ätzbedingungen und verbessert die Gleichmäßigkeit auf Wafern. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 DP verfügt auch über zwei integrierte Prozessendmonitore zur präzisen Steuerung der Filmabscheidung und der Ätztiefen. Unity IIe 855DP Ätzer/Ascher wurde für maximale Leistung und Genauigkeit beim Ätzen und Aschen von mikroelektronischen Geräten entwickelt. Der Zweifrequenzätzprozess, das Hochstromdesign, die große Kammergröße und die Vielzahl an Sensoren machen es für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen gut geeignet. Seine schnelle Ätzzykluszeit und Kompatibilität mit vielen Prozessgasen machen es zu einer idealen Wahl für die Herstellung von Hochdurchsatzgeräten.
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