Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DP #293646577 zu verkaufen

ID: 293646577
Weinlese: 2006
Etcher 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DP ist ein Ätzer/Ascher. Es ist eine fortschrittliche Nassätzer/Ascher-Ausrüstung, die für Halbleiterprozessanwendungen entwickelt wurde, die hohe Ätz- und saubere Fähigkeiten erfordern. Dieses System wird bei der Herstellung von mikroelektronischen und photonischen Geräten wie Displays und Chips eingesetzt, bei denen ein präzises Ätzen von Material unerlässlich ist. Das Gerät ist mit einem integrierten hydromechanischen Kehrimpuls ausgestattet, der sowohl Sedimentation als auch Schleppkräfte verwendet, um die Wafer auf der Plattenoberfläche zu bewegen. Dies ermöglicht eine effiziente Materialabtragung und Substratebenheit über den gesamten Ätzzyklus. Darüber hinaus hält die integrierte Kühlgasverteilungsmaschine CGD alle Prozesskammerkomponenten davon ab, unsichere Temperaturen zu erreichen. Dadurch wird sichergestellt, dass das Werkzeug jederzeit sicher und kontrolliert bedient werden kann. TEL Unity IIe 855DP verfügt über erweiterte Ätz- und saubere Funktionen. Es ist mit einem gepulsten Ätzprozess ausgestattet, der sowohl Argon als auch Chlor verwendet, um Designs und Muster auf dem Substrat zu ätzen, während ein interner Videomonitor das genaue Ätzen dieser Muster gewährleistet. Darüber hinaus ermöglicht die Anlage den Einsatz von Medien wie Plasma- und RCA-Reinigungsmitteln, um Rückstände zu entfernen, die während des Ätzvorgangs auf dem Substrat verbleiben. Das Modell ist für den Betrieb mit hohen Geschwindigkeiten mit einem maximalen Durchsatz von bis zu 16 Wafer-Synch/sec ausgelegt. Es ist auch mit einer Reihe von Temperatursteuerungs-, Puls- und Zykluszeit sowie einer Vakuumkassette und Kassettentausch-Funktionen ausgestattet. Dies ermöglicht zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse, auch bei anspruchsvollsten Ätz- und sauberen Anwendungen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine webbasierte Steuerungs- und Überwachungssoftware, die eine Fernverwaltung und Datenerfassung ermöglicht. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 DP ein vielseitiger und präziser Ätzer/Ascher. Es ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, die es ermöglichen, hohe Ätz- und Reinigungsfähigkeit zu erreichen, während es eine präzise Kontrolle über den gesamten Prozess bietet. Damit ist es ein wesentliches Werkzeug bei der Herstellung von mikroelektronischen und photonischen Geräten.
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