Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS #197628 zu verkaufen

ID: 197628
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Oxide etcher, 8" (2) chambers Mass flow controller GAS #1 C4F8 50 GAS #2 CH2F2 50 GAS #3 O2 200 GAS #4 CO 300 GAS #5 AR 1SLM GAS #6 CHF3 100 GAS #7 CF4 100 GAS #8 C4F8 50 Pressure controller P/V (PC1) VAT 65048-JH52 P/V (PC2) VAT 65048-JH52 Robot Robot Controller YASKAWA SRC-Ⅱ016 TMP (PC1) EDWARDS STP-A2203W1 TMP Controller (PC1) EDWARDS STP-A2203W1 TMP (PC2) EDWARDS STP-A2203W1 TMP Controller (PC2) EDWARDS STP-A2203W1 Generator (PC1) DAIHEN WAG-30C Generator (PC2) DAIHEN WAG-30C Matcher (PC1) DAIHEN CB-13A Matcher Controller (PC1) Matcher (PC2) DAIHEN CB-13A Matcher Controller (PC2) EPD (PC1) EPD (PC2) T/C TMP Controller HDD DISK (DATA) HDS722580 HDD DISK (S/W) HDS722580 AC Rack (PCB Board) SVA011: Not attached TEB107: Not attached SMM162: Not attached GST-M-SET: Not attached TVB0008 TVB0010-1: Not attached TC(PCB BOARD) COM DIO1 DIO2 MAIO ILK PC1(PCB BOARD) APC: not attached DIO MAIO COM TEMP PC2(PCB BOARD) APC: not attached DIO MAIO COM TEMP Robot controller missing 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS ist ein High-End-Ätzer/Ascher für die Halbleiterherstellung. Es wurde entwickelt, um präzise Ätz- und Ascheprozesse für die Herstellung von Halbleiterbauelementen wie Verbindungsschichten, Durchsiliziumvias (TSVs) und MEMS-Bauelementen bereitzustellen. TELEFON-Einheit IIe 855DS zeigt hoch genaue zwei Äxte Kassette-zu-Kassette, überträgt Ausrüstung und ein fortgeschrittenes Regelsystem. Dies ermöglicht dem Ätzer/Ascher präzise und stabile Ätz- und Ascheprozesse mit verbesserter Gleichmäßigkeit und Steuerbarkeit. Die Bearbeitungskammer wird bei höheren Temperaturen im Vergleich zu Standard-Ätzern/Aschern verbessert, wodurch sie höhere Ätzraten erreichen kann. TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS umfasst auch einzigartige erweiterte Funktionen, wie vielseitige Gasflusssteuerung, fortschrittliche Prozessrezepte, geschlossene Schleife, Selbstkontrollschutz, automatische Abtreibungen und eine fortschrittliche End-of-Run-Erkennung. Dies gewährleistet eine hohe Prozesseffizienz, eine verbesserte Qualitätskontrolle und ein zuverlässiges Ätz- und Ascheerlebnis. Unity IIe 855DS wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Wafergrößen zu verarbeiten, bis zu 8 Zoll. Es kann bis zu 600 Wafer pro Stunde laufen und sorgt für kurze Taktzeiten. Dadurch ist der Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Halbleiterherstellungsanforderungen geeignet. Es nutzt fortschrittliche Prozesstechnologien wie OPC-RI/RIE, Bandaschen, Etch-Stop-Etch und Glühen. Was die Sicherheits- und Umweltmerkmale betrifft, ist TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS mit zertifizierten, ultra-leckagearmen Ventilen ausgestattet. Dadurch wird eine extrem dichte Abdichtung gewährleistet und ein Austritt von Gas in die Umgebung verhindert. Darüber hinaus verwendet der Ätzer/Ascher eine Vielzahl von Prozessgasen mit geringer Toxizität und verfügt über eine integrierte Sicherheitseinheit zur Überwachung der Gehalte an gefährlichen Gasen. Bei einer Gesamthöhe von nur 70 cm ist TEL Unity IIe 855DS kompakt und eignet sich somit für ein breites Spektrum an Industrieflächen. Es ist auch ein hocheffizientes Werkzeug, das für geringere Betriebskosten sorgt. Kurz gesagt, TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS ist ein präziser und effizienter Ätzer/Ascher für die Halbleiterherstellung, der Prozesskompetenz, Qualitätskontrolle und Zuverlässigkeit bietet. Es ist bekannt für seine hohe Leistung, sowie für seine Umweltsicherheit und niedrigen Betriebskosten.
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