Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS #197628 zu verkaufen
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ID: 197628
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
Oxide etcher, 8"
(2) chambers
Mass flow controller
GAS #1 C4F8 50
GAS #2 CH2F2 50
GAS #3 O2 200
GAS #4 CO 300
GAS #5 AR 1SLM
GAS #6 CHF3 100
GAS #7 CF4 100
GAS #8 C4F8 50
Pressure controller
P/V (PC1) VAT 65048-JH52
P/V (PC2) VAT 65048-JH52
Robot
Robot Controller YASKAWA SRC-Ⅱ016
TMP (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
Generator (PC1) DAIHEN WAG-30C
Generator (PC2) DAIHEN WAG-30C
Matcher (PC1) DAIHEN CB-13A
Matcher Controller (PC1)
Matcher (PC2) DAIHEN CB-13A
Matcher Controller (PC2)
EPD (PC1)
EPD (PC2)
T/C TMP Controller
HDD DISK (DATA) HDS722580
HDD DISK (S/W) HDS722580
AC Rack (PCB Board)
SVA011: Not attached
TEB107: Not attached
SMM162: Not attached
GST-M-SET: Not attached
TVB0008
TVB0010-1: Not attached
TC(PCB BOARD)
COM
DIO1
DIO2
MAIO
ILK
PC1(PCB BOARD)
APC: not attached
DIO
MAIO
COM
TEMP
PC2(PCB BOARD)
APC: not attached
DIO
MAIO
COM
TEMP
Robot controller missing
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS ist ein High-End-Ätzer/Ascher für die Halbleiterherstellung. Es wurde entwickelt, um präzise Ätz- und Ascheprozesse für die Herstellung von Halbleiterbauelementen wie Verbindungsschichten, Durchsiliziumvias (TSVs) und MEMS-Bauelementen bereitzustellen. TELEFON-Einheit IIe 855DS zeigt hoch genaue zwei Äxte Kassette-zu-Kassette, überträgt Ausrüstung und ein fortgeschrittenes Regelsystem. Dies ermöglicht dem Ätzer/Ascher präzise und stabile Ätz- und Ascheprozesse mit verbesserter Gleichmäßigkeit und Steuerbarkeit. Die Bearbeitungskammer wird bei höheren Temperaturen im Vergleich zu Standard-Ätzern/Aschern verbessert, wodurch sie höhere Ätzraten erreichen kann. TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS umfasst auch einzigartige erweiterte Funktionen, wie vielseitige Gasflusssteuerung, fortschrittliche Prozessrezepte, geschlossene Schleife, Selbstkontrollschutz, automatische Abtreibungen und eine fortschrittliche End-of-Run-Erkennung. Dies gewährleistet eine hohe Prozesseffizienz, eine verbesserte Qualitätskontrolle und ein zuverlässiges Ätz- und Ascheerlebnis. Unity IIe 855DS wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Wafergrößen zu verarbeiten, bis zu 8 Zoll. Es kann bis zu 600 Wafer pro Stunde laufen und sorgt für kurze Taktzeiten. Dadurch ist der Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Halbleiterherstellungsanforderungen geeignet. Es nutzt fortschrittliche Prozesstechnologien wie OPC-RI/RIE, Bandaschen, Etch-Stop-Etch und Glühen. Was die Sicherheits- und Umweltmerkmale betrifft, ist TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS mit zertifizierten, ultra-leckagearmen Ventilen ausgestattet. Dadurch wird eine extrem dichte Abdichtung gewährleistet und ein Austritt von Gas in die Umgebung verhindert. Darüber hinaus verwendet der Ätzer/Ascher eine Vielzahl von Prozessgasen mit geringer Toxizität und verfügt über eine integrierte Sicherheitseinheit zur Überwachung der Gehalte an gefährlichen Gasen. Bei einer Gesamthöhe von nur 70 cm ist TEL Unity IIe 855DS kompakt und eignet sich somit für ein breites Spektrum an Industrieflächen. Es ist auch ein hocheffizientes Werkzeug, das für geringere Betriebskosten sorgt. Kurz gesagt, TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS ist ein präziser und effizienter Ätzer/Ascher für die Halbleiterherstellung, der Prozesskompetenz, Qualitätskontrolle und Zuverlässigkeit bietet. Es ist bekannt für seine hohe Leistung, sowie für seine Umweltsicherheit und niedrigen Betriebskosten.
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