Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II #9071931 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9071931
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Oxide etcher, 8"
(2) Chambers
Wafer type: flat-zone
Rack type: V1 rack
Processing type: vacuum
Wafer loading type: normal
MFC:
GAS #1 C4F8 50
GAS #2 Ar 1000
GAS #3 SF6 100
GAS #4 CHF3 100
GAS #5 O2 20
GAS #6 CF4 200
GAS #7 PN2 100
GAS #8 CO 200
APC: VAT 61146-PH02-ABM1
Gauges:
Baratron CELERITY CDLD0112E 0~1TORR
Baratron TYRAN GENERAL CDL0112E 0~1TORR
Baratron MKS 622A01TDE 1PA
Convectron G/PHILLIPS 275203
TMP MITSUBISHI E-0776
TMP Controller MITSUBISHI FT-1200W
Robot YASKAWA VS2E
Robot Controller YASKAWA SRC-Ⅱ013
Generator PERAL LT-2000-800K; PERAL RP-3000-27M
6.Matcher PERAL M-30AW2VD-27M; PERAL M-20A2LS-V2
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II ist eine Ätz-/Aschemaschine, die in den unterschiedlichsten Branchen eingesetzt wird. Es ist ein leistungsstarkes, energieeffizientes Werkzeug, um eine Vielzahl von Substraten schnell und präzise zu ätzen/aschen. Es verfügt über ein robustes Design und fortschrittliche Prozesstechnologien für Ätz-/Ascheprozesse. TEL UNITYIIE-855 II ist in der Lage, zweidimensionale (2D) und dreidimensionale (3D) Strukturen in Silizium (Si), Indiumphosphid (InP), Galliumarsenid (GaAs), elektrischen Substraten und anderen wertvollen Materialien zu verarbeiten. Es wurde entwickelt, um eine einheitliche Oberflächenstruktur zu schaffen und eine hohe Ätz-/Aschegeschwindigkeit zu bieten, während das Endprodukt die höchste Qualität erhält. TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II verfügt über eine breite Palette von Prozessparametern, einschließlich Druck, Zeit, Temperatur und Substratdicke. Es verfügt über eine 4-Zonen-Plasmaquelle, eine flexible Softwaresteuerung und eine schnelle Anlaufzeit. Die einfach zu bedienende und präzise Steuerung der Maschine ermöglicht das zuverlässige und wiederholbare Ätzen/Aschen der Substrate. TEL UNITY IIE 855 II ist für maximale Effizienz ausgelegt und integriert sich in eine Vielzahl von Werkzeugen und Systemen. Die Maschine ist in der Lage, mehrere Wafer zu handhaben, und kann mit einer Reihe von Spezialwerkzeugen verwendet werden, um verschiedene Ätz-/Ascheprozessanforderungen zu unterstützen. Es ist auch kompatibel mit anderen TEL/TOKYO-Geräten, wie Wafer-Handlern, Top-Mount-Öfen und FOUP-Ladern, um ein komplettes und effizientes System zu schaffen. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II ist eine branchenführende Ätz-/Aschemaschine, die entwickelt wurde, um qualitativ hochwertige Ergebnisse mit einer breiten Palette von Parametern und Geräten zu liefern. Mit seinen robusten und vielfältigen Fähigkeiten ist es eine ideale Wahl für die Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien mit hoher Präzision, Präzision und Wiederholbarkeit.
Es liegen noch keine Bewertungen vor