Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II #9142648 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II ist ein hochentwickelter Plasmaätzer/Ascher, der speziell für die High-End-Anforderungen der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es bietet überlegene Prozessstabilität, geringe Wartung, schnelle und genaue Verarbeitung und insgesamt erhöhte Erträge. Es ist mit einem hochauflösenden 12-Zoll-Farb-Touchscreen, automatisierten Auftragsplanungs- und Dateiverwaltungsfunktionen sowie erweiterten Diagnosemanagementgeräten für die Echtzeit-Prozessüberwachung ausgestattet. TEL UNITYIIE-855 II ist mit vier miteinander verbundenen Plasmakammern ausgestattet, so dass bis zu vier verschiedene Arten von Substratmaterialien (wie Siliziumwafer) gleichzeitig geätzt oder adert werden können, um die Effizienz zu erhöhen. Es kann Substrate bis zu 300 mm Durchmesser und bis zu 25 mm Dicke aufnehmen. Ein automatisiertes Substratübertragungssystem ist auch für den vereinfachten Auftragsaufbau und das schnellere Be- und Entladen von Substraten enthalten. Der Plasmaraum wird mit einem Hochfrequenz-RF (Radiofrequenz) Stromversorgung, sowie innere Magnete für die optimale Plasmakontrolle und Gleichförmigkeit ausgestattet. Die Kammer wird auch von einem Dual-Frequenz-Generator angetrieben, so dass je nach Ätz-/Aschebedarf sowohl DC als auch RF aufgebracht werden können. Ein zusätzlicher Doppelfrequenzgenerator kann zur weiteren Anpassbarkeit extern zur Kammer montiert werden. TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II Enhancement Unit (ES) ist als Standard für verbesserte Ätz-/Veraschungsleistung enthalten. Das ES ermöglicht eine direkte Gaseinspritzung, was die Ätz-/Aschegeschwindigkeit des Prozesses deutlich erhöht, sowie überlegene Reinigungs- und Strukturierungsmöglichkeiten. Zur weiteren Anpassung können auch mehrere sekundäre benutzerdefinierte Werkzeuge mit dem ES verbunden werden. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855I I ist auch mit einer Reihe von Sicherheits- und Umweltmerkmalen ausgestattet, einschließlich Gasüberwachung, um Gasüberlastung zu verhindern, und eine sekundäre Kältemaschine, um eine stabile und konsistente Prozesstemperatur zu gewährleisten. Darüber hinaus hat das Gerät eine geringe Geräuschemission, was es ideal für Labor- und Fertigungsumgebungen macht. Insgesamt ist TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855II ein hochentwickelter und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der den Anforderungen der modernen Halbleiterindustrie gerecht wird. Es bietet überlegene Prozessstabilität, automatisierte Arbeitsplatzplanung und Dateiverwaltung, Dual-Frequency-Generatoren, Gaseinspritzfähigkeiten und zahlreiche Sicherheitsfunktionen für mehr Effizienz und Erträge.