Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855PP #293764219 zu verkaufen

ID: 293764219
Oxide etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855PP ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher speziell für die Halbleiterindustrie. Diese Anlage eignet sich aufgrund ihrer kombinatorischen Gleichung ideal für eine Vielzahl von Prozessen, sowohl beim Plasmaätzen als auch beim chemischen Naßätzen. Der Ätzer/Ascher ist mit einem EPS-Tuning mit hohem Durchsatz ausgestattet, das eine verbesserte Gleichmäßigkeit in einer Vielzahl von Prozessfenstern bietet. TEL Unity IIe nutzt 855PP das Prozessleitsystem Unity IIe. Es verfügt über einen verbesserten Endpunkterkennungsalgorithmus, der hilft, die Wahrscheinlichkeit von Stempelschäden während der Verarbeitung zu verringern. Das Gerät verfügt außerdem über ein Nassprozessmodul, das eine enge Temperaturregelung des chemischen Ätzprozesses ermöglicht und ein hochpräzises Ätzen des Wafers ermöglicht. TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 PP hat auch eine fortschrittliche Wafer-Ausrichtmaschine, die eine präzise Maskierung und Ätzung des Wafers ermöglicht. Darüber hinaus bietet das Tool eine Reihe von Prozessfenstern, die schnellere Prozesszeiten und hohe Erträge ermöglichen. Das Asset bietet zudem ein Smart Edge Monitoring Modell, das ein gleichmäßiges Ätzen über die gesamte Oberfläche des Wafers gewährleistet. Das Druckregelgerät sorgt für eine optimale Dotierung des Wafers, was zu gleichbleibender Ätzqualität führt. Sein Kühlsystem hält die Temperatur der Ätzkammer konstant und trägt zur Prozesswiederholbarkeit bei. TOKYO ELECTRON Unity IIe 855PP ist zuverlässig und effizient, was hilft, Erträge zu maximieren. Diese Einheit ist einfach zu bedienen und ermöglicht eine schnelle und einfache Einrichtung und Wartung des Ätzprozesses. Darüber hinaus ist es für den Einsatz in einer Reinraumumgebung konzipiert und kann Störungen wie Stromversorgungsprobleme, Bewegung von Geräten und Umgebungsstaub standhalten. Insgesamt ist UNITY IIE 855 PP eine fortschrittliche Ätzmaschine, die in der Lage ist, Wafer nach optimalen elektrischen Spezifikationen genau zu ätzen und zu waschen. Dieses Werkzeug ist zuverlässig und einfach zu bedienen und verfügt über eine Vielzahl von Prozessfenstern und Funktionen, die dazu beitragen, Präzisionsätzen und eine konstant hohe Ausbeute zu gewährleisten.
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