Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SP #197627 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SP ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine für die Präzisionsbearbeitung. Es ist ein äußerst zuverlässiges und anpassungsfähiges System, das in der Lage ist, präzise Öffnungen, Durchgänge und Löcher in einer Vielzahl von Substraten zu erzeugen. Der Prozess selbst wird von einer umfassenden Software geleitet, die Ätz- und Ascheparameter für einen höheren Durchsatz und eine verbesserte Qualität optimiert. TEL Unity IIe 855SP nutzt eine leistungsstarke Elektronenstrahlplattform mit Funktionen wie schnelle und genaue Strukturierung von hochleitenden Schichten, Waferkrümmung/Kegelkorrektur und die Fähigkeit, auf unregelmäßigen oder unebenen Substraten zu ätzen. Es hat eine Strahlgröße von 2,3 nm Durchmesser, eine Nahtauflösung von 0,48 µm und eine Gleichmäßigkeit von ± 2%, wodurch es für hochauflösende Photoresists und Substrate mit feinen Strukturen geeignet ist. Die Elektronenstrahlmustergeschwindigkeit beträgt bis zu 375mm2/h (abhängig von Prozessparametern). Um Genauigkeit und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten, enthält TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SP ein spezielles Abtastoptikpaket und eine leistungsstarke Computereinheit mit einer Datenerfassungs-/Verarbeitungssuite zur automatischen Prozessoptimierung. Die Rasteroptik ermöglicht eine präzise Musterkontrolle und sorgt durch den Einsatz von bis zu vier Elektronenimplantaten für wiederholbare Schichtprofile. Die Maschine verfügt auch über ein erweitertes Steuerungssoftware-Paket, das eine genaue Steuerung jedes Prozessschritts vom Rohmaterial zum Endgerät ermöglicht. Es ermöglicht dem Benutzer auch, die Ionenarten, Spannung, Strom und Energie für jeden Schritt zu steuern. Das Prozessrezept-Management von UNITY IIe 855SP macht es einfach, Muster für eine schnelle Prozessautomatisierung zu speichern, abzurufen und zu modifizieren. Es ist in der Lage, Misch- und monolithische Prozesse wie Photolithographie, Plasmaätzung und Elektronenstrahlverdampfung zu unterstützen. Das einfache Rezept-Setup und die Monitoring-Schnittstelle ermöglichen eine strukturierte Prozessentwicklung mit Leichtigkeit. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SP ein zuverlässiges und effizientes Ätz-/Ascherwerkzeug für die Präzisionsbearbeitung. Es ist sehr effizient bei der Herstellung von Öffnungen, Durchgängen und Löchern in einer Vielzahl von Substraten und unterstützt flexible Prozessautomatisierung für erhöhte Genauigkeit und Durchsatz.