Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9033646 zu verkaufen
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ID: 9033646
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Oxide etcher, 8"
Flat-zone wafer type
(2) Chambers
Mass flow controller
GAS #1 C5F8 20
GAS #2 C4F8 20
GAS #3 CF4 100
GAS #4 CHF3 50
GAS #5 CH2F2 50
GAS #6 AR 1,000
GAS #7 O2 50
GAS #8 P-N2 500
Pressure controller
ISO V/V (PC1) VAT 65048-JH52
ISO V/V (PC2) VAT 65048-JH52
Gauge
Baratron MKS 627B-15405
Baratron MKS 627B-15405
Robot YASKAWA VS2C
Robot controller YASKAWA SRC-Ⅱ016
TMP (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
Generator (PC1) DAIHEN WGA-30C
Generator (PC2) DAIHEN WGA-30C
Matcher (PC1) DAIHEN AMN-30C11
Matcher Controller (PC1)
Matcher (PC2) DAIHEN AMN-30C11
Matcher Controller (PC2)
EPD (PC1)
EPD (PC2)
T/C TMP Controller
AC RACK (PCB BOARD):
SVA031
Not included:
TEB107
TEB162
GST-M-SET
TVB0008
TC(PCB BOARD)
COM
DIO1
DIO2
DIO3: Not included
MAIO
ILK
PC1 (PCB BOARD):
APC
DIO
MAIO
EPD
COM
TEMP
PC2 (PCB BOARD):
APC: Not included
DIO
MAIO
EPD
COM
TEMP
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS ist ein einzelnes Plasmaätzwerkzeug der nächsten Generation, das überlegene Leistung und verbesserte Prozessfähigkeit bietet. Es verfügt über eine fortschrittliche Plasmaquelle, die die Prozessgleichförmigkeit optimiert und eine präzise Gaskontrolle ohne Erosion von Komponenten ermöglicht. TEL UNITYIIE-855 SS verfügt über eine patentierte Tieftemperatur-Diffusionsplasmaquelle, die eine hervorragende Leistung bei maximalem Durchsatz und eine hervorragende Präzisionskontrolle der reaktiven Spezies liefert. TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS verfügt über eine hochpräzise Waferstufe, die Temperaturen bis -60 ° C erreichen kann. Diese Stufe bietet einen verbesserten Abscheidungsprozess, der ideal für die Erzeugung von Oberflächen mit gewünschten Eigenschaften ist. Die Waferstufe wird von einer hochmodernen Motor- und Schrittspulenausrüstung angetrieben, die eine genaue und gleichmäßige Energieverteilung gewährleistet. Das PC-gesteuerte Produktionssystem umfasst auch eine ausgeklügelte Diagnoseeinheit, die eine Echtzeitüberwachung des Ätzprozesses ermöglicht und den Anwender bei Problemen warnen kann. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS ist auch mit einer voll integrierten Maschine ausgestattet, die mechanische Transfere von Partikeln und Verunreinigungen zwischen Wafern und der Vakuumkammer beseitigt. Dieses umfassende Tool sorgt für höchste Sauberkeit und Prozesswiederholbarkeit. Darüber hinaus unterstützt TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E 855SS die Verwendung einer Vielzahl von Kammerkonfigurationen, einschließlich chemischer Dampfabscheidung (CVD) und reaktiver Ionenätzkammern (RIE) für Ätzprozesse. TEL UNITY IIE 855 SS hat auch ein energieeffizientes Design und ist in der Lage, mit schnelleren Geschwindigkeiten zu laufen und gleichzeitig weniger Strom zu verbrauchen als andere Ätzwerkzeuge. Die fortschrittliche Steuerungssoftware ermöglicht unbeaufsichtigten Betrieb und automatisierte Rezepte, die das Be- und Entladen von Wafern erleichtern, sowie ein integriertes Online-Tracking-Asset, das Informationen über Produktionsdaten, Kalibrierungsverlauf und Leistung bereitstellt. Insgesamt ist TEL UNITY IIE-855SS ein Hochleistungs-Ätzwerkzeug, das überlegene Prozessfunktionen und verbesserte Kosteneinsparungen bietet. Die fortschrittliche Technologie, das energieeffiziente Design und das umfassende Steuerungsmodell machen es zu einer zuverlässigen und effizienten Option für Ätzanwendungen.
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