Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9033646 zu verkaufen

ID: 9033646
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2004
Oxide etcher, 8" Flat-zone wafer type (2) Chambers Mass flow controller GAS #1 C5F8 20 GAS #2 C4F8 20 GAS #3 CF4 100 GAS #4 CHF3 50 GAS #5 CH2F2 50 GAS #6 AR 1,000 GAS #7 O2 50 GAS #8 P-N2 500 Pressure controller ISO V/V (PC1) VAT 65048-JH52 ISO V/V (PC2) VAT 65048-JH52 Gauge Baratron MKS 627B-15405 Baratron MKS 627B-15405 Robot YASKAWA VS2C Robot controller YASKAWA SRC-Ⅱ016 TMP (PC1) EDWARDS STP-A2203W1 TMP Controller (PC1) EDWARDS STP-A2203W1 TMP (PC2) EDWARDS STP-A2203W1 TMP Controller (PC2) EDWARDS STP-A2203W1 Generator (PC1) DAIHEN WGA-30C Generator (PC2) DAIHEN WGA-30C Matcher (PC1) DAIHEN AMN-30C11 Matcher Controller (PC1) Matcher (PC2) DAIHEN AMN-30C11 Matcher Controller (PC2) EPD (PC1) EPD (PC2) T/C TMP Controller AC RACK (PCB BOARD): SVA031 Not included: TEB107 TEB162 GST-M-SET TVB0008 TC(PCB BOARD) COM DIO1 DIO2 DIO3: Not included MAIO ILK PC1 (PCB BOARD): APC DIO MAIO EPD COM TEMP PC2 (PCB BOARD): APC: Not included DIO MAIO EPD COM TEMP 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS ist ein einzelnes Plasmaätzwerkzeug der nächsten Generation, das überlegene Leistung und verbesserte Prozessfähigkeit bietet. Es verfügt über eine fortschrittliche Plasmaquelle, die die Prozessgleichförmigkeit optimiert und eine präzise Gaskontrolle ohne Erosion von Komponenten ermöglicht. TEL UNITYIIE-855 SS verfügt über eine patentierte Tieftemperatur-Diffusionsplasmaquelle, die eine hervorragende Leistung bei maximalem Durchsatz und eine hervorragende Präzisionskontrolle der reaktiven Spezies liefert. TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS verfügt über eine hochpräzise Waferstufe, die Temperaturen bis -60 ° C erreichen kann. Diese Stufe bietet einen verbesserten Abscheidungsprozess, der ideal für die Erzeugung von Oberflächen mit gewünschten Eigenschaften ist. Die Waferstufe wird von einer hochmodernen Motor- und Schrittspulenausrüstung angetrieben, die eine genaue und gleichmäßige Energieverteilung gewährleistet. Das PC-gesteuerte Produktionssystem umfasst auch eine ausgeklügelte Diagnoseeinheit, die eine Echtzeitüberwachung des Ätzprozesses ermöglicht und den Anwender bei Problemen warnen kann. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS ist auch mit einer voll integrierten Maschine ausgestattet, die mechanische Transfere von Partikeln und Verunreinigungen zwischen Wafern und der Vakuumkammer beseitigt. Dieses umfassende Tool sorgt für höchste Sauberkeit und Prozesswiederholbarkeit. Darüber hinaus unterstützt TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E 855SS die Verwendung einer Vielzahl von Kammerkonfigurationen, einschließlich chemischer Dampfabscheidung (CVD) und reaktiver Ionenätzkammern (RIE) für Ätzprozesse. TEL UNITY IIE 855 SS hat auch ein energieeffizientes Design und ist in der Lage, mit schnelleren Geschwindigkeiten zu laufen und gleichzeitig weniger Strom zu verbrauchen als andere Ätzwerkzeuge. Die fortschrittliche Steuerungssoftware ermöglicht unbeaufsichtigten Betrieb und automatisierte Rezepte, die das Be- und Entladen von Wafern erleichtern, sowie ein integriertes Online-Tracking-Asset, das Informationen über Produktionsdaten, Kalibrierungsverlauf und Leistung bereitstellt. Insgesamt ist TEL UNITY IIE-855SS ein Hochleistungs-Ätzwerkzeug, das überlegene Prozessfunktionen und verbesserte Kosteneinsparungen bietet. Die fortschrittliche Technologie, das energieeffiziente Design und das umfassende Steuerungsmodell machen es zu einer zuverlässigen und effizienten Option für Ätzanwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor