Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9042813 zu verkaufen

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ID: 9042813
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Oxide etcher, 8" (2) Process chambers Wafer type: flat Signal tower: (3) lamps, (2) sides (front and back) chamber type: Unity SCCM 2 Wafer handling type: vacuum load / unload station Robot arm type: anodized aluminum Wafer clamp type: ESC ESC type: ceramic EPD: both chambers EPD type: EPD 30X Transfer chamber configuration: C/C1 Pressure switch: Leybold PS 113 16014 C/C2 Pressure switch: Leybold PS 113 16014 T/C Convactron: Phillips 275203 T/C CM: MKS 6220 A01 TDE, 1 Pa capacity PCV Unit: STEC SV-P1000 DC power supply: SANKEN MLT-DCBOX5 Transfer robot: YASKAWA VS2C RC/ELC1: YASKAWA SRC-II 015 RPA/ELC2: YAWKAWA SRC-II 016 Wafer alignment: YASKAWA VOSJ 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS ist ein Ätzer/Ascher für Photolithographieverfahren. Es ist halbautomatisch und bietet erweiterte Funktionen in einem einfach zu bedienenden Design. TEL UNITYIIE-855 SS ist mit einem Edelstahltank mit eingebautem Silikatbad und einem staubarmen Sammler für eine saubere Arbeitsumgebung aufgebaut. Darüber hinaus verfügt es über zusätzliche Sicherheitsmaßnahmen wie einen Notabschaltmechanismus. Das Gerät bietet einen chemischen Widerstand von bis zu 500 Ohm, wodurch Angstrom-Level-Prozesse während des gesamten Ätzprozesses stabil bleiben. TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS hat eine integrierte Diagnose, um die Fehlerbehebung zu erleichtern. Das System ist mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche (GUI) ausgestattet, um die Benutzerfreundlichkeit zu erleichtern. Das Steuerungssystem überwacht automatisch Prozessparameter und lässt sich leicht anpassen, um Rezepte zu optimieren. Die Steuerung sorgt für wiederholbare, zuverlässige Ergebnisse für jeden Prozess. Um die Genauigkeit zu gewährleisten, bietet TEL/TOKYO ELECTRON UNITYIIE-855 SS eine umfassende Prozessüberwachung. Der Ätzer/Ascher überwacht und gibt dem Benutzer während jedes seiner Prozesse kontinuierlich Feedback. Es kann auch Daten über jeden Prozess liefern, wie Temperatur, Druck und Frequenz des Prozesses. Das Gerät bietet auch erweiterte Funktionen wie die Möglichkeit, abgeschlossene Rezepte zu speichern, sowie die Möglichkeit, die Operationen der Einheit zu programmieren. TEL UNITY IIE-855SS bietet eine kompakte Stellfläche und kann bis zu neun Arbeitsplätze bearbeiten. Der Ätzer/Ascher ist sowohl für den Chargenbetrieb als auch für Einzelwafer ausgelegt. Es verfügt über eine breite Palette von Flüssigkeiten, die in einer Reihe von Prozessen verwendet werden können. Es ist hoch programmierbar und kann mit einer Vielzahl von Ätz- und Aschemaschinen verwendet werden. UNITY IIE-855SS ist eine zuverlässige, leistungsstarke Ätz- und Aschereinheit. Es bietet erweiterte Funktionen, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Durchführung verschiedener Prozesse zu gewährleisten. Der Ätzer/Ascher ist auf Benutzerfreundlichkeit ausgelegt und bietet Kunden eine saubere Arbeitsumgebung. Es verfügt über umfassende Prozessüberwachungsfunktionen und kann detaillierte Daten zu jedem seiner Prozesse bereitstellen. Mit seinem breiten Spektrum an Prozessfähigkeiten ist dieses Produkt gut für diejenigen geeignet, die ein schnelles und effizientes Photolithographie-Verfahren benötigen.
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