Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9236831 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS
ID: 9236831
Wafergröße: 8"
Etchers, 8" (2) Chambers.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS ist ein anspruchsvoller Ätzer/Ascher zur Vereinfachung und Verbesserung der Präzision und Genauigkeit von Substratreinigungsprozessen. Das Gerät ist so konzipiert, dass Verunreinigungen effizient und schnell von Substraten durch den Einsatz von Hochdruck-flüchtigen Chemikalien in einer Hochtemperaturumgebung entfernt werden können. Das System verfügt über eine benutzerfreundliche Touchscreen-Schnittstelle und eine flexible Bewegungseinheit, um die gewünschte genaue Ätzung oder Asche zu ermöglichen. TEL UNITYIIE-855 SS ist für den Betrieb mit Temperaturen bis 1000 ° C und bis zu 300 Watt ausgelegt. Die Einheit hat eine 506 x 506 mm große Bearbeitungskammer, die von einem 16-seitigen Tor und einer patentierten Reflexionsauskleidung umgeben ist. Dies hilft, die Gleichmäßigkeit der Prozessumgebung über das Substrat zu halten und das Risiko von Hotspots oder ungleichmäßiger Erwärmung, die den Ätzprozess beeinflussen, zu minimieren. Ein gekühltes Medienlieferrohr dient dazu, während des Prozesses einen präzisen und konsistenten Medienstrom auf den Substraten bereitzustellen. Die Maschine enthält auch eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, wie verriegelte Zugangspaneele, eine automatische Sicherheitsabschaltung und eine Not-Aus-Taste. Das Werkzeug enthält auch einen Leistungsmonitor, der die Leistungsaufnahme misst, um sicherzustellen, dass das Gerät nicht überlastet ist. Darüber hinaus enthält TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS eine integrierte automatische Diagnosefunktion, mit der Benutzer die Asset-Performance jederzeit während des Prozesses überprüfen können. Dadurch wird sichergestellt, dass das Modell seine Höchstleistung erreicht. TOKYO ELECTRON UNITY II E 855SS ermöglicht eine fortschrittliche Prozesssteuerung durch Profilabstimmung, Substratverfolgung, Druck- und Temperaturanpassung und Live-Kammerbildgebung. Darüber hinaus kann die Ausrüstung in Kombination mit anderen Werkzeugen verwendet werden, um eine komplexere Substratverarbeitung zu unterstützen. Dazu gehört die Möglichkeit, einen mehrstufigen Ätz- oder Ascheprozess mit erhöhter Präzision und Komplexität durchzuführen. Insgesamt bietet TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS ein genaues, zuverlässiges und effizientes Substratverarbeitungssystem, das auf die Bedürfnisse jeder einzelnen Anwendung zugeschnitten werden kann. Das Gerät ist so konzipiert, dass es einfach zu bedienen und zu warten ist, mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen und Überwachungsfunktionen, die alle sicherstellen, dass der Ätz- oder Aschevorgang sicher und genau kontrolliert durchgeführt wird. UNITY IIE-855SS ist eine ideale Wahl für eine Reihe von Ätz- und Ascheanwendungen, von kleinen bis zu großen Chargen von Substraten.
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