Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9292571 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS
ID: 9292571
Wafergröße: 8"
Dry etcher, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS Etcher/Asher ist eine vielseitige Hardware-Lösung zum Ätzen und Aschen von Photomasken, Retikeln und anderen gemusterten Oberflächen. Das System steuert mithilfe eines mehrstufigen Prozesses Temperaturen, Gasfluss und Leistungsstufen über eine Vielzahl von Prozessen hinweg genau. TEL UNITYIIE-855 SS weist eine hydrolytische Ätzkammer, eine Vakuumstufe, ein Wasserstoffperoxidbad und eine Gebläsekammer auf, die alle verwendet werden, um ein saubereres, gleichmäßigeres Ätzen oder Aschen des gewünschten Zielmaterials zu erreichen. TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS wurde entwickelt, um ein schnelles und präzises Ätzen und Aschen von Photomasken und Retikeln innerhalb einer Einheit zu ermöglichen. Durch intelligente Prozesssteuerung ist es in der Lage, das Wafer-Thermobudget und die Temperaturdrift zu begrenzen. Darüber hinaus ist das System mit hochempfindlichen Temperatursensoren ausgestattet, die sicherstellen, dass gleichmäßige Ätz- und Aschebedingungen über alle Punkte auf der gemusterten Oberfläche aufrechterhalten werden. Dies führt zu einer höheren Genauigkeit und höheren Ausbeuten. Die hydrolytische Ätzkammer von UNITY IIE 855 SS ist mit einem fortschrittlichen VCA (Voltage Controlled Activation) -Verfahren ausgestattet, das konsistente und wiederholbare Ergebnisse für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen liefert. Dazu gehört das Ätzen, Beschichten und Entfernen dünner Schichten, wie sie bei der Verarbeitung von Photomasken und Retikeln verwendet werden. Die Kammer verfügt außerdem über ein robustes Lastschloß-System zum effizienten Be- und Entladen von Substraten, was die Durchschlagskraft und Zuverlässigkeit erhöht. TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS ist mit einem Wasserstoffperoxidbad ausgestattet, das verwendet wird, um die Ätz- und Ascheprozesse zu verstärken, zu verbessern und zu erweitern. Dieses Peroxidbad ist auch in der Lage, Verunreinigungen zu entfernen, was dem Prozess eine zusätzliche Präzision verleiht. Das Bad wird temperaturgeregelt, um gleichmäßige Ätz- und Aschebedingungen über alle Teile der zu ätzenden oder zu aschenden Oberfläche zu erhalten. Schließlich enthält TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E 855SS eine Blaskammer, die das Ätz- oder Aschematerial evakuiert und trocknet, was zu einem Reiniger und einem gleichmäßigeren geätzten oder aschenen Ergebnis führt. Die Gebläsekammer ist mit Ventilatoren mit variabler Geschwindigkeit ausgestattet und bietet eine verbesserte Trocknungseffizienz und Genauigkeit. Dieses effiziente Trocknungsverfahren minimiert das Risiko potenziell kostspieliger Fehler und maximiert die Produktausbeute. TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS ist der ideale Ätzer und Ascher für Photomasken, Retikel und andere gemusterte Oberflächen. Seine Vielseitigkeit, Zuverlässigkeit und Präzision machen es zu einer essentiellen Lösung für Elektronikfertigungsanlagen und steigern sowohl die Produktivität als auch die Produktqualität.
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