Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD #293760242 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD ist ein Ätzer/Ascher, der mit Plasma- und chemischen Verfahren Kleinbauelemente wie Chips und Schaltungen herstellt. Diese Vorrichtung besteht aus einer Hauptkammer mit einer Breite von 370mm, einer Tiefe von 50mm und einer Höhe von 500mm und mehreren Innenbehältern zum Halten der zu ätzenden Materialien, wie Siliziumscheiben, Galliumarsenid und Saphir. Das Gerät ist über die RS-232-Kommunikation an einen Computer angeschlossen und in mehreren Arbeitsmodi strukturiert, um eine vollständige Automatisierung des Ätzprozesses zu ermöglichen. TEL Unity IIe 85DD verfügt über ein fortschrittliches Ätzkopfdesign mit einer Düse mit vier winkelorientierten Strahlen und vier konzentrisch zylindrischen Strahlen. Die Strahlen ermöglichen eine gleichmäßige Abgabe des Plasmas oder der Chemikalien an das Werkstück, wodurch eine reibungslose Ätzleistung erreicht wird. Der Prozess des Ätzens beginnt mit der Kombination von Gasen in der Kammer und der Energiezufuhr, die von einem 60MHz Mikrowellengenerator erzeugt wird. Diese Energie erzeugt eine gleichmäßige Plasmaverteilung über das gesamte Werkstück, was zu einem Leitstrom führt, wodurch das Arbeitsmaterial zerfällt. Darüber hinaus können verschiedene Chemikalien in Kombination mit dem Plasmaätzverfahren verwendet werden, um seine Genauigkeit zu erhöhen. Das einzigartigste Merkmal von TOKYO ELECTRON UNITY IIE 85 DD ist die vollautomatische Prozesssteuerung. Es verwendet eine Regeleinrichtung, um die Arbeitsparameter wie Temperatur, Druck, Belichtungszeit und die Plasmaförderrate genau einzustellen. Dies gewährleistet ein genaues Ätzergebnis und minimiert die Möglichkeit von Materialschäden durch falsche Ätzbedingungen. Darüber hinaus ermöglicht das Vorhandensein von Sauerstoff- und Feuchtigkeitssensoren innerhalb des Systems die automatische Anpassung der Ätzbedingungen zur Variation des verwendeten Materials. Schließlich bietet UNITY IIE 85 DD eine breite Palette von Sicherheitsmerkmalen. Das Innere der Kammer ist mit einem Edelstahl-Vakuumgehäuse gebaut, um vor thermischen Schäden zu schützen und Unfälle durch plötzliche Druckänderungen innerhalb der Einheit zu verhindern. Das Gerät ist außerdem mit einer Bildverarbeitungsmaschine und mehreren sensorischen Systemen ausgestattet, um den Prozess kontinuierlich zu überwachen und für Stabilität zu sorgen. Darüber hinaus ermöglicht ein Notabschaltwerkzeug dem Benutzer, den Ätzvorgang bei unerwarteten Ereignissen schnell abzubrechen.
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