Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD #9219713 zu verkaufen
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ID: 9219713
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Oxide etcher, 8"
(2) Turbo pumps
(2) RF Generators
(4) EBARA Pumps
Remote AC box
(2) Process chambers
CIM Linked
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD ist ein Mehrkammerätzer zur Verarbeitung einer Vielzahl von Halbleiterscheiben. Dieses Gerät wurde mit einem proprietären 85DD Kammerprozess entwickelt, der schnelle und genaue Ätzergebnisse liefert. Die Anlage besteht aus zwei Prozesskammern, die zusammenarbeiten, um den Ätzprozess abzuschließen. Die erste Kammer ist in der Lage, Standardätzprozesse wie Naß- und Trockenätzen durchzuführen, während die zweite Kammer Vorreinigungs- und Nachätzprozessen gewidmet ist. Dieses Zweikammersystem ermöglicht ein effizientes und genaues Ätzen verschiedener Materialien ohne manuelle Änderungen am Aufbau. TEL Unity IIe 85DD ist mit einer Mehrgasfördereinheit und einer patentierten elektropneumatischen Gasschaltmaschine ausgestattet. Dieses Werkzeug ermöglicht es dem Anwender, den Ätzprozess durch präzise Steuerung des Flusses von reaktiven Gasen und inerten Gasen zu steuern. Das Gerät ist auch mit PEPE oder Plasma-Ätzen von Polymeren und Energetik ausgestattet, die speziell für die Verarbeitung von Polymeren und anderen empfindlichen Materialien entwickelt wurde. Das PEPE Asset ist eine Zweikopf-Laseranordnung, die ultrakurze Laserenergieimpulse verwendet, um kleine Merkmale in empfindlichen Materialien zu schaffen. TOKYO ELECTRON UNITY IIE 85 DD wird gebaut, um die höchsten Industriestandards für Sicherheit und Umweltschutz zu wahren. Die Containment-Kuppel der Einheit verhindert, dass während der Verarbeitung erzeugte Partikel in der Luft aus der Kammer austreten; Darüber hinaus ist die Kammer mit einem Sauerstoffüberwachungsmodell ausgestattet, das den Druck und die Strömung von Gasen automatisch einstellt, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Weitere Sicherheitsmerkmale sind automatischer Verschlussbetrieb, eine integrierte Feuerlöschausrüstung und ein Bodenfehlerunterbrecherschalter. Die intuitive Benutzeroberfläche von TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD ermöglicht dem Benutzer einen einfachen und schnellen Zugriff auf die Systemeinstellungen. Neben der integrierten Prozesssoftware des Geräts können Benutzer das Gerät auch per Smartphone oder anderen drahtlosen Geräten fernsteuern. UNITY IIE 85 DD ist ein optimierter und vielseitiger Ätzer, der für die fortschrittlichen Ätzanforderungen von Halbleiterherstellern geeignet ist. Die fortschrittlichen Funktionen, integrierte Sicherheitssysteme und die intuitive Benutzeroberfläche machen das Gerät zu einer idealen Wahl für alle Halbleiterätzanwendungen.
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