Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85I EM #9091879 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 85I EM Ätz-/Aschemaschine ist eine trockene Ätz- und Aschemaschine, die zum Plasmaätzen und Trockenaschen im Halbleiterherstellungsprozess entwickelt wurde. Das System ist mit einer Multi-Station, Multi-Prozess-Fähigkeit ausgelegt, so dass mehrere Prozesse in einem integriert werden können. Es verfügt über eine versiegelte Kammereinheit mit automatischen Reinigungs- und Trocknungsfähigkeiten, wodurch der Bruch von Materialien mit kontrollierten und wiederholbaren Prozessergebnissen reduziert wird. TEL UNITY IIE 85IEM verfügt über einen Hightech-Dualfrequenzgenerator mit einem niederfrequenten Hochfrequenzabschnitt und einer Hochfrequenzquelle zur Aufrechterhaltung eines gleichmäßigen Kammerdrucks während des Plasmaätz- und -veraschungsprozesses. Die Maschine ist mit einem Aktiv-Suszeptor-Element ausgebildet, um das Ätzen in einem ausgewählten Bereich zu lokalisieren und zu fördern. Das Aktiv-Suszeptor-Element hilft auch, die chemische Erosion zu reduzieren oder die Resistmaske zurückzuätzen. TOKYO ELECTRON UNITY II E 85IEM Ätzer/Ascher ist mit einem internen Gaszusammensetzungs-Überwachungswerkzeug ausgestattet, das eine genaue Kontrolle der Plasmagaszusammensetzung mit der Fähigkeit zur kontinuierlichen Analyse und Überwachung der Gaskonzentrationen ermöglicht. Es kommt auch mit robusten Türen im Clamshell-Stil für mechanisiertes Laden und Entladen. Der Ätzer/Ascher ermöglicht eine flexible Modusumschaltung zwischen Ätzen und Aschen mit schneller und einfach programmierbarer Rezeptprogrammierung. Alle Zielmaterialparameter können mit Gasflussregelung und gleichmäßiger Substrattemperatur exakt eingestellt werden. Die Anlage bietet auch genaue wiederholbare Temperaturprofile für jedes Rezept laden, so dass einfache Einrichtung und schnelle Job-Korrektur. Ein integriertes, fortschrittliches Plasmaätzüberwachungsmodell mit umfassender Datenerfassung bietet Echtzeit-Rezept-Ausführungsverfolgung. TEL UNITY II E 85IEM ist mit einer vollautomatischen Sicherheitsausrüstung ausgestattet, die hohe Sicherheitsstandards zum Schutz von Bedienern, Materialien und der Umwelt bietet. Es kommt auch mit einer intuitiven HMIS-Software mit Rezeptprotokollierung und mehrsprachigen Unterstützungsoptionen, die eine einfache Bedienung durch Benutzer mit unterschiedlichen Fähigkeiten und Sprachhintergründen ermöglicht. TEL Unity IIe 85I EM etcher/asher ist ein effektives System für den Einsatz im Halbleiterherstellungsprozess, das eine zuverlässige Prozesssteuerung für maximale Ausbeute und wiederholbare Ergebnisse bietet.