Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity M 85 TD #9254149 zu verkaufen
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ID: 9254149
Wafergröße: 8"
Oxide etcher, 8"
Components:
Load Lock Module (LLM)
Transfer chamber
Pre aligner
(2) Process chambers
(3) Gate valves
(2) Bottom RF matchers
(2) Upper electrode cooling fans
(2) ESCs
(2) Baffle plates
(2) Shield rings
(2) Upper electrodes
(2) Pedestals
(2) Quartz insulators
Turbo molecular pump
Focus ring
Ceramic insulator
Quartz pipe
Display
Light tower
Pumps:
(2) Process chamber dry pumps
(2) Dry pumps racks
EBARA Load lock dry pump
EBARA Transfer chamber dry pump
(2) PC TMP Pumps missing
Main controllers:
(4) Hard Drive Disks (HDD)
(2) Control boards, AI/AO boards set
Big system control box
TC Controller box
Chillers:
SMC Dual chiller
SMC Single chiller
(4) Chiller hoses
Cables:
(5) Pump power cables
(4) Pump control cables
(6) Power cables
(3) Chiller control cables
(5) Remote pump cables
Interface cable
Gas box cable
AC Cable
(2) Gas boxes
(2) V-37 Valves
AC Power box: AC Distribution box
Foreline connecting pips.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity M 85 TD ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um eine zuverlässige und wirtschaftliche Produktion von mikroelektronischen Komponenten zu ermöglichen. Dieses Werkzeug ist eine Mehrkammer-Prozessausrüstung, die mehrere Komponenten in einem einzigen Lauf verarbeiten kann. Es ist entworfen, um nasse oder trockene Prozesse durchzuführen, und beinhaltet die Fähigkeit, hohe Temperatur und/oder selektives Ätzen anzuwenden. Das System ist über ein Bedienfeld oder eine Frontplattenschnittstelle programmiert und verfügt über mehrere Sicherheitsfunktionen, die für den automatisierten Betrieb programmiert werden können. TEL Unity M 85 TD verfügt über eine Mehrkammerausführung mit einer Hauptkammer und zwei Teilkammern. Es ist mit einer einzigartigen Gasanordnungseinheit ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, die richtigen Gasmengen und die entsprechenden Typen für jeden bearbeiteten Prozess genau zu liefern. Die Maschine verfügt auch über fortgeschrittene Diagnosewerkzeuge, die es dem Bediener ermöglichen, störende Geräte schnell zu beheben. Es kommt auch Standard mit einem automatisierten Prozess-Control-Tool (APCS), die kontinuierlich überwacht die Prozess-Parameter-Messungen, um sicherzustellen, dass die genauen Spezifikationen eingehalten werden. Dieser Ätzer/Ascher hat eine Mehrbereichsleistung von bis zu 25 W und ermöglicht eine hohe Vielfalt an Präzisionsoperationen. Es verfügt über eine schnelle Heizfähigkeit, die kürzere Bearbeitungszeiten ermöglicht, und die integrierte thermische Steuerung hilft, einen konsistenten Betrieb und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON Unity M 85 TD wurde entwickelt, um mit verschiedenen Spezialgasen zu arbeiten, um eine breite Palette von Anwendungen zu gewährleisten. Unity M 85 TD verfügt über eine Reihe von Standard-Sicherheitsmerkmalen, die den Bediener, das Modell und den Prozess schützen. Alle luftgetragenen Partikel werden durch eine eingebaute Abgasanlage entfernt, und ESD (elektrostatische Entladung) beständiges Material wird verwendet, um mögliche Verletzungen oder Schäden zu verhindern. Darüber hinaus verfügt das System über einen integrierten Luftfilter, der die Luftqualität kontinuierlich überwacht und den Prozess entsprechend anpasst. TEL/TOKYO ELECTRON Unity M 85 TD ist eine zuverlässige und effiziente Ergänzung zu jeder Produktionslinie. Es wurde entwickelt, um den Durchsatz zu maximieren und Kosten zu senken und gleichzeitig das hochwertigste Fertigprodukt zu gewährleisten. Die fortschrittlichen Sicherheitsmerkmale sorgen für Unfallverhütung und einen kontinuierlichen Produktionsprozess. Dieser Ätzer/Ascher ist ideal für Präzisionsanwendungen wie Halbleiterbauelemente, Displays und Dünnschichttechnik.
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