Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity M #293654956 zu verkaufen
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ID: 293654956
Etcher, 8"
(3) DRM Chambers
V2 Rack
Transfer system:
Transfer chamber
Cassette chamber
Pre-alignment unit
Transfer robot
Chamber accessories:
Dipole ring magnet
Rotation speed
Pressure control system
He cooling system
Fixed gap cylinder
RF System:
ENI GHW25A RF Generator
Oscillating frequency: 13.56 MHz
Maximum output: 2500 W
ENI MWD-25LD-06 RF Match
Oscillating frequency: 13.56 MHz
Maximum output: 2500 W
Gas delivery option:
SUS316L Piping
SUS Gasket
IGS Fitting
MEGA-MINI Valve
HORIBA SEC-Z512MGXC (IGS) Mass flow controller
End point system (302x):
Controller: 1x
Fibre: 1D80-005308-11
Lens: 1D80-004290-11
Remote:
10" Colour LCD display
Buzzer alarm
Lot end melody
AC Rack:
Machine on/off circuit
Interlock on/off circuit
EMG Off circuit
Hard disk: System HD, data HD
EDWARDS STP-A1303C Turbo pump for process chamber
EDWARDS STP-A1303C Turbo pump controller for process chamber
Power supply: 208 V ± 10%, 60 Hz.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity M ist eine Hochleistungs-Ätzausrüstung, ideal für den Einsatz in den unterschiedlichsten Branchen. Dieses System verwendet eine mikrowellenbasierte Plasmaätzung, um Materialien wie Siliziumwafer und andere Substrate mit Genauigkeit und Geschwindigkeit zu ätzen. Es ist in der Lage, mehrere Schichten auf einmal zu handhaben und kann Stücke bis zu einem Durchmesser von maximal 200 mm ätzen. Das Gerät kann für die Chargenverarbeitung verwendet werden, was die schnelle Produktion von Großprodukten ermöglicht. Dieser Ätzer verwendet hochfrequente Radiosignale, die innerhalb der Prozesskammer erzeugt werden, um Plasmen mit einer Vielzahl von Eigenschaften zu erzeugen. Dadurch kann bei hohen Temperaturen und mit hohem Durchsatz geätzt werden. Das Ergebnis ist eine Radierung, die sauber und hochpräzise ist. Darüber hinaus umfasst der Ätzer eine große Substratkapazität für größere Volumenprojekte. TEL Unity M verfügt über eine Mehrkammerarchitektur, mit der mehrere Ätzschichten parallel abgeschlossen werden können. Dies sorgt für einen schnellen und qualitativ hochwertigen Ätzprozess. Darüber hinaus kann die Maschine Materialien von 4 bis 200 Mikrometer Dicke handhaben und bei Temperaturen bis 1000 ° C ätzen. Der Prozess ist auch dynamisch konsistent zwischen mehreren Werkzeugkomponenten ausgelegt. Dies gewährleistet gleichmäßige Ätzergebnisse auch bei Verwendung von Scheiben unterschiedlicher Materialien und Dicken. Weitere Merkmale von TOKYO ELECTRON UNITY-M sind eine einfach zu bedienende Touchscreen-Schnittstelle und eine eigene Kantenausschlusskammer. Dadurch kann der Benutzer Ätzungen ohne Kantenausschluss und andere Artefakte erstellen. Darüber hinaus kann die Anlage mit einem automatischen Qualitätsmonitor ausgestattet werden, mit dem der Benutzer die Ätzqualität in Echtzeit überwachen kann. Dies bietet ein zusätzliches Maß an Kontrolle und Qualitätssicherung. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON Unity M mit einer Vielzahl von Substraten und Materialien sowie einer Vielzahl von Abscheideprozessen kompatibel. Insgesamt ist TEL UNITY-M ein leistungsstarkes Ätzmodell, ideal für jede Branche. Die Mehrkammerarchitektur des Geräts ermöglicht mehrere parallele Ätzschichten, während die mikrowellenbasierte Plasmaätzung und die dynamische Konsistenz für höchste Präzisionsätzergebnisse sorgen. Darüber hinaus ist das System auf Benutzerfreundlichkeit ausgelegt und umfasst Funktionen wie eine intuitive Touchscreen-Oberfläche und einen automatischen Qualitätsmonitor. Dadurch ist UNITY-M in der Lage, schnell und präzise Ätz- und Abscheidungsprozesse durchzuführen.
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