Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 45D #293615959 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity ME 45D ist ein Ätzer/Ascher zur Verwendung in der Halbleiterherstellung. Dieser Einkammer-Trockenverfahren-Ätzer/Ascher eignet sich sowohl für Massenproduktionslinien als auch für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen. TEL Unity ME 45D kann eine Vielzahl von Materialien, einschließlich Silizium, Oxid, Nitrid, Polysilizium und Metalle, mit einem niedrigen Verhältnis von Verlust oder Aufnahme während des Ätzens ätzen. Das ME 45D ist mit einer einzigen Kammer, mit zwei Sätzen Duschköpfen und zwei Sätzen Substrathalter ausgelegt. Dadurch können zwei Substrate gleichzeitig geätzt werden. Es verfügt auch über ein Hochvakuumsystem mit einer dreistufigen Turbomolekularpumpe für höhere Ätzgenauigkeit. Der Ätzer/Ascher ist mit einer Reihe von Prozesssteuerungen ausgestattet, die es dem Ätzer/Ascher ermöglichen, die für den Ätzvorgang erforderlichen genauen Bedingungen einzuhalten. Die ME- 45D wird über ein vertikal montiertes Bedienfeld gesteuert, das es dem Bediener ermöglicht, die Ätzzeit, den Ätzdruck und andere Parameter für präzise Ätzergebnisse einzustellen. Das ME 45D ist außerdem mit Gasmisch- und In-situ-Diagnosesystemen ausgestattet, um den Prozess zu überwachen und die Genauigkeit des Ätzprozesses sicherzustellen. Das Gasmischsystem ist in der Lage, die Strömungsgeschwindigkeiten und Verhältnisse der beim Ätzen verwendeten Gase genau zu steuern. Das ME- 45D ist auch mit Sicherheitsmerkmalen wie einem Inertgaslecksucher, einer Notbelüftung und einem Lecksuchsystem ausgestattet. Darüber hinaus verfügt das ME- 45D über eine hocheffiziente Wäschereinheit zur Erfassung von während des Ätzprozesses erzeugten Partikeln und Gerüchen. Das ME 45D ist ein Trockenprozess-Ätzer/Ascher, der eine breite Palette von Ätzfunktionen, präziser Steuerung, einfacher Wartung und Benutzersicherheit bietet. Diese Kombination sorgt dafür, dass sie ein idealer Ätzer/Ascher für die Halbleiterherstellung ist.