Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 85 DRM #293648350 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity ME 85 DRM ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für den Einsatz in MEMS/NEMS und fortschrittlichen Verpackungsanwendungen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, mehrere Filme unterschiedlicher Dicke für die Herstellung einer Vielzahl von Mikroelektronik-Geräten, einschließlich MEMS und NEMS-Geräten abzuscheiden. Die Unity ME 85 ist eine modulare Ausrüstung, die leicht für spezifische Kundenanforderungen wie zusätzliche Druck- und Temperaturkontrolle, kundenspezifische Filmabscheideraten und mehr modifiziert werden kann. Das System ist mit einer revolutionären digitalen Gasumgehungseinheit, einer mehrstufigen Temperaturregelung und einem Hochfrequenznetzteil ausgestattet. Auf diese Weise liefert die Maschine zuverlässige und wiederholbare Dünnschichtabscheideraten und konstante Dünnschichteigenschaften und Oberflächenveredelungen. Das Werkzeug ist mit einem Ultra-Niederdruck-Abscheidungsmerkmal sowie einem großflächigen Plasma-Oberflächenpräparationsfenster ausgestattet, das eine Substratverarbeitung mit minimaler Verschmutzung ermöglicht. Die Anlage verfügt außerdem über einen Gasförderkrümmer und ein elektronisches Modul, das eine präzise Steuerung des Gasförderdrucks und der Durchflussraten ermöglicht. Die Unity ME 85 verfügt zudem über eine echte 4-Achsen-Bewegungssteuerungsarchitektur, die eine mehrschichtige Dünnschichtabscheidung mit Präzisionskontrolle über Filmbreiten und Gleichmäßigkeit ermöglicht. Darüber hinaus zeigt ein Echtzeit-Überwachungsmodell sowohl die Prozessbedingungen als auch die Produkteigenschaften an, sodass Anwender schnell auf sich ändernde Bedingungen reagieren können. Eines der innovativsten Merkmale des Unity ME 85 ist sein proprietärer Dünnschichtätzmodus, der eine präzise Manipulation der Dünnschichtdicke von 10nm bis 1000nm ermöglicht. Das patentierte Dual Plasma Source System des Geräts bietet eine hochkonturierte Oberflächengüte sowie ein hohes Seitenverhältnis beim Ätzen in schwierige Materialien. Das Gerät ist auch mit einer Folienwäschermaschine ausgestattet, die sicherstellt, dass das Ätzprodukt vollständig frei von eventuell vorhandenen Staubpartikeln ist. Die Unity ME 85 bietet eine ideale Lösung für fortschrittliche Verpackungsanwendungen und bietet hohe Durchsatz- und Prozesswiederholbarkeit über eine breite Palette von Substraten und Materialien. Das Tool ist auch konform mit SEMI und ATRM Standards konzipiert, um die Kompatibilität mit einer Vielzahl von Dünnschichtprozessen zu gewährleisten.