Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 85 #9286040 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity ME 85 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine für Ätz- und Ascheprozesse. Das System ist ein Evolution Unit-Typ Eller/Wet Etcher (EUE). Die EUE ist eine doppelseitige Ätz- und Aschekammer, die durch unabhängige Ätz-/Aschesteuerung und nahtlosen Übergang zwischen beiden Gleichförmigkeit gewährleistet. Der Ätzprozess nutzt sowohl eine Oxidentfernungsfunktion als auch eine Antiätzfunktion, die für optimale Verarbeitungsergebnisse genau und präzise eingestellt werden kann. Das Gerät ist sowohl mit Standard- als auch mit High-Aspect-Ratio-Wafern kompatibel und kann 75mm-125mm für Ashing-Anwendungen unterstützen. Es ist auch mit Optionen für plasma- oder UV-basierte Ätzung sowie für eine Reihe von Ätz-/Aschekammer zu Wafer Größenverhältnisse voreingestellt. Neben seinen Ätz- und Aschefunktionalitäten bietet TEL Unity ME 85 eine Reihe weiterer Funktionen, die es zu einer idealen Wahl für viele Anwendungen machen. Es verfügt über eine bequeme Lastsperre und RF sowie die Fähigkeit, Temperatur, DC-Vorspannung, Autokorrektur und maschinenweite Diagnosen und Alarme zu steuern. Es ist auch für 12 Arten verschiedener Gase zum Ätzen sowie für verschiedene Kombinationen von Oxidationsmitteln und Nichtoxidationsmitteln zertifiziert. Es kann bis zu vier Gase gleichzeitig überwachen und ist mit einstellbaren Anschlüssen für Sensoren und Detektoren ausgestattet, um den Prozess reibungslos und effizient zu halten. Das Tool wird auch durch ein internationales Servicenetzwerk unterstützt, so dass Service und Wartung für seine Komponenten schnell und bequem erledigt werden können. Um ein Höchstmaß an Sicherheit und Leistung zu gewährleisten, ist TOKYO ELECTRON UNITY ME-85 auch nach UL/CSA, CE und VDE-Standards zertifiziert. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME-85 ein zuverlässiges und effizientes Ätz-/Ascher-Asset, das die hohe Genauigkeit bietet, die für eine Vielzahl von Prozessen erforderlich ist. Seine ausgeklügelten Funktionen, umfassende Sicherheits- und Leistungsstandards sowie bequeme Service- und Wartungsprotokolle machen es zu einer guten Wahl für jede Ätz- und Veraschungsanwendung.