Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 8555 DDD #9117097 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9117097
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2002
System, 8"
Process type: Oxide
Wafer type: Notch
(3) Chambers
Chamber type: DRM
Main body type: SMIF
Interface type: SMIF
Robot fork type: Ceramic coating
Wafer clamp type: ESC
ESC Type: Ceramic
No EPD
ECC Rack: V-2
Monitor: Front
Signal tower: (4) Colors
Automation online: GEM
Area sensor type: Individual (2) area sensors
Includes:
Vacuum / RF Controller module
AC Power distribution: TEL (UM 4PC)
No Y2O3 Process kit
Transfer chamber:
C/C1 Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
C/C1 Pressure switch LEYBOLD vakuum PS113 16014
C/C2 Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
C/C2 Pressure switch LEYBOLD vakuum PS113 16014
T/C Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
Transfer robot YASKAWA XU-RVM3800
Wafer alignment YASKAWA XU-AVP3700
C/C1 Controller YASKAWA XU-BDB14011
C/C2 Controller YASKAWA XU-BDB14012
Transfer interface box YASKAWA XU-BCB1600
Gate valve type VAT ROLLCAM
Process chambers (1,2,3):
Gas# 1 C4F8 10 sccm
Gas# 2 Ar 100 sccm
Gas# 3 O2 10 sccm
Gas# 4 CHF3 100 sccm
Gas# 5 N2 500 sccm
Gas# 6 CF4 100 sccm
Gas# 7 CH2F2 100 sccm
Gas# 8 C4F6 30 sccm
CM1 250 mTorr MKS 627A-13614-S
CM2 10 Torr MKS 627A-14583
PCV Unit center 100 Torr MKS 640A-22936
PCV Unit edge 100 Torr MKS 649A-22016
APC V/V VAT 65044-PH52-0004
APC Con't VAT PB6 (in P/C Control Rack)
Turbo pump SEIKO SEIKI STP-A803C
Turbo con't SEIKO SEIKI STP-A803C
Pressure switch#1 MKS 51A52TGA2BA500
Pressure switch#2 MKS 51A31TGA2BA010
Convactron GRANVILLE PHILLIPS 275071-KF16
Ion gauge LEYBOLD 1TR100-T
RF Generator (Bottom): ENI GHW-25
RF Matcher (Bottom): ENI MWD-25LD
DC P/S: TEL
HV-DC P/S: TEL
Lift pin type: TEL Stepping motor drive
GAP Type: Pancake air cylinder
Process chamber 2:
Gas# 1 C4F8 10 sccm
Gas# 2 Ar 100 sccm
Gas# 3 O2 10 sccm
Gas# 4 CHF3 100 sccm
Gas# 5 N2 500 sccm
Gas# 6 CF4 100 sccm
Gas# 7 CH2F2 100 sccm
Gas# 8 C4F6 30 sccm
Electrical configuration:
ECC:
Slot#0 TEB408-11 HDMC
Slot#1 SVA011
Slot#2 SVA011
Slot#3 TEB107_ECS5
Slot#4 PPC6603ev_M/C TEB205
Slot#5 PPC6603ev_M/C TEB205
Slot#6 Blank
Slot#7 TEB001-12_GHUB
Slot#8 Print board
Slot#9 Blank
Slot#10 Blank
Slot#11 Blank
Slot#12 TVB0008-2_VMIF
ECC P/S ECC DC Power supply module
HDD#1 TEB407 HDD Base
HDD#2 TEB407 HDD Base
Transfer chamber:
Slot#1 Blank
Slot#2 TYB135 / OPE
Slot#4 TYB134 / ILK
Slot#5 TYB112 / DIO#1
Slot#3 TYB112 / DIO#2
Slot#6 TYB112 / DIO#3
Slot#7 TYB111 / MAIO
Slot#8 YE CPU (JASRC-BCP02) Software Ver 2.2
Slot#9 YE CPU (JASRC-BCP02) Software Ver 2.2
Slot#10 Blank
Slot#12 YE P/A ( XU-SVA0100C)
T/C P/S T/C DC Power supply
Process chambers (1,2,3):
Slot#1 APC / PB-6
Slot#2 Blank
Slot#3 TYB112 / DIO
Slot#4 TYB111 / MAIO
Slot#5 Blank
Slot#6 TYB121 / COM#1
Slot#7 TEMP / REX-B860-CS2
Does not include:
Pumps
Chillers
SMIF Loaders: LPT2200
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity ME 8555 DDD, auch als Ätzer oder Ascher bekannt, ist ein spezialisiertes Werkzeug für eine Vielzahl von Aufgaben von Fachleuten in der Elektronikindustrie verwendet. Es soll eine Vielzahl von Materialien auf der Oberfläche eines Substrats genau abscheiden. Seine Fähigkeiten machen es zu einem wertvollen Werkzeug für verschiedene Prozesse wie Ätzen, Abscheiden, Lithographie und Montage. Die Vorrichtung besteht aus einer Edelstahlkammer, einem Drehtisch zur Substratpositionierung und -transport, einem Massenstromregler, einem Gaskrümmer und einer Heizung. Was die technischen Spezifikationen betrifft, verfügt die Unity ME 8555 über einen Arbeitsbereich mit einem Substrathalter von 400x400mm. Es hat auch eine Fähigkeit, Substrate bis zu einer Dicke von 0,5 mm zu ätzen. Mit diesem Setup kann der Anwender Substrate aus verschiedenen Materialien wie Kupfer, Silizium, Aluminium und Edelstahl ätzen. Das Gerät ist aufgrund seiner robusten grafischen Benutzeroberfläche extrem einfach zu bedienen. Es kann leicht programmiert werden, um gewünschte Ergebnisse nach Materialanforderungen zu erzielen. Das Gerät ist mit einer integrierten Auto-Rezept-Funktion integriert, die es dem Benutzer ermöglicht, eine unbegrenzte Anzahl von Ätzrezepten zu speichern. Darüber hinaus verfügt sie über eine eingebaute Kamera, die eine Videoüberwachung des Ätzfortschritts ermöglicht und somit den Benutzer bei der Verwaltung des Prozesses unterstützt. Der Ätzer verfügt außerdem über eine Software, mit der der Benutzer die Daten nach dem Ätzvorgang anzeigen kann. Diese integrierte Ätzanalysesoftware umfasst eine Vielzahl von Werkzeugen wie Ätzrate, Linienbreitenmessung, Fokusebene und Oberflächenrauhigkeit. All diese Daten helfen dem Benutzer, Ätzprofile zu erstellen und den Prozess entsprechend den gewünschten Ergebnissen zu ändern. TEL Unity ME 8555 DDD ist eine unglaublich zuverlässige und langlebige Maschine. Es ist für einfache Wartung und Austausch von Teilen ohne Eingriff konzipiert. Mit mehreren Kapazitäten von Ätzmaterialtypen eignet sich der Ätzer für eine Reihe von Prozessen und Anwendungen. Seine umfangreichen Funktionen und Fähigkeiten machen es zu einer idealen Wahl für viele Anwendungen, von der Unterhaltungselektronik bis zur Automobilentwicklung.
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