Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity SP #9284470 zu verkaufen

ID: 9284470
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
System, 8" (2) CVD Chambers VME Controller missing 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity SP ist ein hochmoderner, vollautomatischer Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um qualitativ hochwertige Ätzergebnisse mit minimalem Zeitaufwand zu erzielen. Die vielseitige Ausstattung besteht aus der Hauptätzeinheit und einer Stahlvorätzkammer. Die Hauptätzeinheit verfügt über eine unabhängige heiße Zone mit einstellbarer Temperatur und eine Prozesskammer mit offenem Rahmen, um einen schnellen Waferaustausch zu ermöglichen. Die Vorätzkammer ist mit einer Hochströmungspumpe ausgestattet, die hohe Ätzgeschwindigkeiten und große Durchsätze erreichen kann. TEL Unity SP verfügt sowohl über manuelle als auch automatisierte Betriebsarten, die eine vollständige Kontrolle der Ätzprozesse ermöglichen. Eine Steuerung, einschließlich Touchscreen-Schnittstelle und PC, gewährleistet eine hohe Genauigkeit aller Ätzparameter. Vakuum wird von einer hocheffizienten Turbomolekularpumpe geliefert, die eine saubere und schnelle Ätzumgebung ermöglicht. Erweiterte Sicherheitsmerkmale wie Abgas- und Temperaturschutzalarme sind auch in TOKYO ELECTRON Unity SP vorhanden. Egal, ob Sie Trocken- oder Nassätzen benötigen, die Systeme sind hocheffizient, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit der Ergebnisse. Unity SP ist in der Lage, die komplexesten Substrate zu ätzen, von Nanometernuten bis hin zu ganzen Substraten, ohne zusätzliche Ausrüstung. Darüber hinaus ermöglicht die fortschrittliche Klimaanlage ein Tieftemperaturätzen für empfindliche Materialien und Substrate mit hoher Präzision. Darüber hinaus bietet TEL/TOKYO ELECTRON Unity SP fortschrittliche vertikale und Rezirkulationspumpen für effizientes, gleichmäßiges Ätzen bei minimaler Kantenbildung. Die Pumpen gewährleisten eine gleichmäßige Verteilung von Ätzchemikalien und geringen chemischen Abfällen, wodurch hohe Ätzergebnisse erzielt werden. Eine äußere Kammer versorgt die Prozeßkammer nacheinander mit Ätzgasen und evakuiert die Prozeßkammer beim Ätzen. Insgesamt ist TEL Unity SP Ätzer/Ascher die fortschrittlichste Maschine, die entwickelt wurde, um die genauesten auf dem Markt verfügbaren Ätzergebnisse zu liefern. Sein funktionsreiches Design ermöglicht einen einfachen, schnellen und effizienten Betrieb bei gleichbleibenden, sauberen und leistungsstarken Ätzergebnissen.
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