Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity Ver.II 65DI #293643508 zu verkaufen

TEL Unity Ver.II 65DI ist ein hochentwickelter Ätzer/Ascher für das optimale Ätzen und Aschen von Wafern, die in der Halbleiterherstellung verwendet werden. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Wafergrößen zu handhaben, so dass es eine vielseitige und effektive Lösung für Ätz- und Aschaufgaben. Die maximale Substratgröße von TOKYO ELECTRON Unity Ver.II 65DI beträgt 6 Zoll (150mm). Es unterstützt Substrattemperaturen bis 1.150 ° C und umfasst eine Luftlagerstufe, die ein gleichmäßiges, wiederholbares Ätzen und Aschen der Wafer ermöglicht. Es gibt eine Echtzeit-optische Videoüberwachungseinrichtung, die die Beobachtung des Ätz- und Ascheprozesses ermöglicht und die Qualitätssicherung gewährleistet. Das Monitorsystem in Verbindung mit der automatischen Ladeeinheit erleichtert die präzise Wiederholung, Durchführung und Überwachung von Prozessen. Der Ätz-/Ascheprozess wird von einem Paar Auto-Positionierer und EGA-Gate verwaltet. Das EGA-Gate ist in der Lage, den Fluß, den Druck und die Ätztiefe zu steuern, was präzisere Ergebnisse ermöglicht. Zusätzlich kann dem Gerät eine optionale Ionenquelle hinzugefügt werden, die ein schnelleres Ätzen und Aschen der Substrate ermöglicht. Der Unity Ver.II 65DI Ätzer/Ascher ist für hohen Durchsatz und Effizienz ausgelegt. Es unterstützt einen ökonomischen Zeitätzprozess und reduziert die Prozesszeit durch die Erhöhung der Ätz- und Aschegeschwindigkeit. Darüber hinaus kann eine Vielzahl von Gasen, einschließlich Bromwasserstoff (HBr) und Chlor (Cl2), verwendet werden, um ein hoch kontrollierbares und konsistentes Ätzprofil zu erzeugen. Das Gerät kann mit einer Vielzahl von Optionen erweitert werden, so dass es sowohl für F&E als auch für Produktionsanwendungen geeignet ist. TEL/TOKYO ELECTRON Unity Ver.69DI Ätzer/Ascher ist eine effiziente, schnelle und präzise Lösung zum Ätzen und Aschen von Wafern und Substraten. Seine vielseitige Natur und automatische Steuerung machen es eine gute Wahl für jeden Ätz- und Ascheprozess.