Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON UNITY Vera85 DPATC #9145468 zu verkaufen
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ID: 9145468
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Oxide etcher, 8"
(2) Chambers
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY Vera85 DPATC ist ein Ätzer/Ascher, der zur Prozesssteuerung und Strukturierung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist mit integrierter Plasmaquellentechnologie ausgestattet, die eine hervorragende Kompatibilität mit allen reaktiven Gasen bietet und einen größeren Funktionsumfang und eine höhere Genauigkeit in Prozessanwendungen ermöglicht. Das Gerät hat ein kompaktes und relativ leichtes Design, mit einer kleinen Stellfläche, die in den meisten Laborumgebungen passen kann. Sein hochauflösendes LCD ermöglicht eine präzise Strukturierung und Prozesssteuerung. Das Vera85 DPATC verfügt über automatische rezeptbasierte Ätzfunktionen und Hochgeschwindigkeits-Lithographie mit hoher Auflösung. Dies ermöglicht schnellere Produktionszyklen mit präziseren Mustern, wodurch Anwender größere Flächenplatten bearbeiten können. Es verfügt auch über ein eingebautes Bildgebungssystem, um mikroskopisches Feedback zur Plattenqualität zu liefern, wodurch es einfacher ist, Präzisionsmuster mit weniger Defekten zu erzeugen. Zu den integrierten Prozesswerkzeugen gehören ein Plasmagenerator-Steuermodul (PGD), ein Stromversorgungsmanagement und analytische Sensoren zur Prozessüberwachung. Dieser Ätzer/Ascher ist speziell für Direct Patterning Transfer (DPT) Anwendungen wie MEMS, Optoelektronik und HBML Anwendungen konzipiert. Seine fortschrittliche Plasma-basierte Technologie eignet sich für alle nichtflüchtigen Materialien, einschließlich Single-Wafer und Open-Frame-Ätzen. Die integrierten, hochdichten Diagnosefunktionen ermöglichen auch die Prozessoptimierung. Das automatisierte Systemdesign reduziert die Chancen einer defekten Verarbeitung, während die fortgeschrittenen Datenverarbeitungsprogramme detaillierte Berichte über Verarbeitungsqualitäten liefern. Der Vera85 DPATC verfügt auch über einen 64-Bit-Prozessor, der verschiedene Prozesssteuerungsaufgaben ausführen kann. Es kann programmiert werden, um Prozessszenarien wie Stabilisierung, Kontaminationsprävention und Optimierung durchzuführen. Sein LED-Touch-Panel kann so eingestellt werden, dass jedes Random Access-Bit unterschiedliche Leistungsstufen für optimierte Leistung hat. Auf diese Weise können Anwender den Ätzprozess präzise steuern. TEL UNITY Vera85 DPATC ist ein idealer Kantenätzer und Ascher für alle DPT-Anwendungen. Seine automatisierten Systeme und fortschrittlichen Technologien machen es zu einer effizienten und präzisen Maschine für die Qualitätsverarbeitung. Sein benutzerfreundliches Design und seine Funktionen machen es zu einer großen Wahl für erfahrene und Anfänger.
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