Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9146219 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Unity ist eine kritische Ätzeinrichtung, die im Halbleiterprozess verwendet wird. Es ist mit einem einzigen Wafer-Trockenplasmaascher ausgestattet, der fortschrittliche Materialätz- und Abscheidungsprojekte durchführen kann. Das System verfügt über ein revolutionäres neues Upgrade-Design, das eine bessere Leistung, Zuverlässigkeit und Produktivität hervorhebt. Die Ätzeinheit integriert mehrere Prozesse in eine modulare Maschine, wodurch ein effizienter und automatischer Chemieaustauschprozess erreicht wird. TEL Unity basiert auf einer Vakuumkammer, deren Innenseite aus einem sauberen, inerten Material besteht. Eine evakuierte Atmosphäre wird in der Kammer durch eine rückseitig angeschlossene Turbomolekularpumpe erzeugt. Im Inneren hält ein beweglicher Elektrodenhalter die Proben fest. Ein PMAC (Power Monitor and Control) ermöglicht eine präzise Spannungs-, Strom- und Frequenzmodulationssteuerung während des gesamten Ätzprozesses. Der Prozess wird über eine Touchscreen-Benutzeroberfläche mit einer integrierten Prozessbibliothek mit über 15 Prozessrezepten gesteuert. Das Tool entspricht den SEMI-Standards und die Schnittstelle ist mit den Automatisierungssystemen des Kunden kompatibel. Ein ECO-Betriebsmodus sorgt für optimale Bearbeitungszeit und -kosten. TOKYO ELECTRON Unity hat eine Vielzahl von Funktionen, die das Asset zuverlässig und effizient machen. Die automatische Konditionierungstechnik eliminiert die manuelle Planung durch die Steuerung der Konditionierung basierend auf benutzerdefinierten Parametern. Darüber hinaus erreicht der Quarz-Polysilizium-Wafer-Ätzmodus eine hohe Anisotropie und eine extrem enge Profilkontrolle. Die homogene Einheitlichkeit der Ätzergebnisse ist ein branchenführender Aspekt. Auch bei komplexen Geometrien bleiben Profilsteuerung und Merkmalsparallelität eng und in den Anforderungen. Unity ist einfach zu warten, mit schnell austauschbaren Verbrauchsmaterialien und Remote-Fehlerbehebungsfunktionen. Das Ätzmodell ist auf Wiederholbarkeit und Wartbarkeit ausgelegt, sodass Benutzer die exakt gleichen Ätzbedingungen über mehrere Wafer reproduzieren können. Darüber hinaus werden Benutzer über die Überwachungsausrüstung des PMAC-Controllers auf Probleme hingewiesen. Dank des Prozess-Feedback-Systems kann der Benutzer das Ätzrezept in Echtzeit verfolgen. TEL/TOKYO ELECTRON Unity ist eine leistungsstarke und vielseitige Ätzeinheit, ideal für industrielle und kommerzielle Anwendungen. Es bietet höchste Leistung, Zuverlässigkeit und Kosteneffizienz für fortschrittliche Ätz- und Abscheidungsprojekte. Es ist mit der neuesten Technologie konzipiert, so dass Benutzer sicher sein können, dass ihr Ätzprozess wiederholbar ist und dass die Ergebnisse einheitlich und optimiert sind.