Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9176469 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9176469
Ti/TiN CVD Cluster system.
Water pump
Process module 4 trap
Water flow box
Main body
Gas box
Cooling & process module 6 pump rack
UPS Process module 3 trap rack
Module rack
Chiller HIA
Process module 4 trap rack
Transfer & process module 3
(4) Pump racks
Gas Injectors
Signal cables
Tables
Sub-assemblies
Main power distribution
Utility water air rack
Unity controller
Chiller
(4) Pumps
UPS
Valves
Transformers.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity ist eine voll integrierte Nassätz- und Aschemaschine. Dieser branchenführende Ätzer und Ascher bietet Anwendern eine sehr zuverlässige Verarbeitung mit langanhaltender Stabilität und geringen Wartungsanforderungen. TEL Unity-System verwendet High-End-Nassätztechnologie für die Verarbeitung einer breiten Palette von Substraten und Materialoberflächen. Das Naßätzverfahren nutzt ein ionisiertes Ätzmedium, wie reines Wasser, wässrige chemische Lösungen oder dampfförmige Ätzmittel, um unerwünschtes Material zur Oberflächenreinigung, Strukturierung und/oder Schichtübertragung effektiv zu ätzen und zu entfernen. Der Aschvorgang verwendet einen Trockenätzprozess, um Materialschichten zu entfernen, um Muster und KEs zu erzeugen. TOKYO ELECTRON Unity-Einheit nutzt eine robuste Palette von Verarbeitungskammergrößen, von kleinen Benchtop-Systemen bis hin zu großen Produktionssystemen, und bietet Anwendern eine breite Palette von Fähigkeiten für verschiedene Prozesse. Die Maschine ist auch so konzipiert, dass sie mit verschiedenen Prozessgasen und chemischen Abgabesystemen kompatibel ist und die Verwendung von Nass- und Trockenätzen ermöglicht. Unity-Tool ist gut ausgestattet mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen, wie einem luftgeborenen Ultrafilter, einem chemischen Filter und einem chemischen Abgaswäscher. Darüber hinaus entspricht das Modell den SEMI-Schutznormen für gefährliche Operationen. TEL/TOKYO ELECTRON Unity-Geräte verfügen über eine integrierte grafische Benutzeroberfläche (GUI) für einfache Einrichtung und Steuerung, einschließlich Prozessfluss und Parametereingabe, Programmverwaltung und Datenanzeige. Darüber hinaus integriert das System Prozessrezepturmanagement und Datenarchivierung für eine verbesserte Rückverfolgbarkeit. Die eingebaute Anzeige ermöglicht es Benutzern, den Fortschritt jedes Prozesses in Echtzeit zu überwachen und Parameter entsprechend anzupassen. Um die Automatisierung und Effizienz zu steigern, ist TEL Unity auch in der Lage, mit einer Vielzahl von externen Systemen wie Prozessüberwachungs- und Steuerungssystemen zu interagieren. TOKYO ELECTRON Unity Maschine ist eine ideale Lösung für Anwender, die eine leistungsstarke, zuverlässige und wartungsarme Verarbeitung für verschiedene Feucht- und Trockenätzoperationen erreichen möchten. Mit seinen fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen, der robusten Kammerkonstruktion und der benutzerfreundlichen GUI ist das Unity-Tool zu einer beliebten Wahl für die Halbleiter-, Datenspeicher- und fortschrittliche Materialbearbeitung geworden.
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