Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9298719 zu verkaufen

ID: 9298719
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2013
Etcher, 12" 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Tornado 300 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für präzise und leistungsstarke Anwendungen bei der Herstellung von Halbleiterscheiben. TEL Tornado 300 ist ein Hochdurchsatz-Ätzsystem, das hohe Geschwindigkeit mit hohem Durchsatz und maximaler Qualität kombiniert. NEXX Tornado 300 verwendet eine Prozesskammer, die in der Lage ist, hohe Leistungsdichten in einer kontrollierten Umgebung zur Bildung modernster Merkmale zu liefern. Die Prozesskammer wird aus vollkeramischen Materialien konstruiert und die fortschrittliche Mehrfachgasfördereinheit verfügt über die neuesten Hochgeschwindigkeits-, integrierte Plenums und hochpräzise Inertgaseinführungsanordnungen. Die fortschrittliche Halbleiterprozesssteuerungsmaschine von TOKYO ELECTRON Tornado 300 ermöglicht eine schnelle Leistung über eine breite Palette von Ätzprozessen. Die Ätzkammer ist mit einer beeindruckenden Zykluszeit von 15 Sekunden hocheffizient. Diese Zykluszeit hilft, Wafer-zu-Wafer-Variationen zu verringern und bietet eine hervorragende pünktliche Produktion durch schnelle Zykluszeit. Dieses Ätzwerkzeug verfügt auch über innovative HF-Netzteile sowie Prozessregler. Das HF-Netzteil sorgt für einen stabilen Prozessfluss und bietet überlegene Gleichmäßigkeit sowie regelbare Leistungsstufen. Der HF-Controller bietet präzise Prozesskontrollparameter, die eine hochpräzise Zykluszeitregelung ermöglichen. Das Asset verfügt auch über einen fortschrittlichen programmierbaren Prozesscontroller, der präzise und flexible Programmierfunktionen wie einstellbare Temperatur-, Druck- und Prozessparameter bietet. Dieses Modell kann auch einfach für hochpräzise Prozesssteuerungsparameter programmiert werden. Sein gleichzeitiger Multi-Oszillator-Modus hilft, die Gleichmäßigkeit über die gesamte Waferoberfläche aufrechtzuerhalten. Tornado 300 bietet hervorragende Leistung bei minimaler Wartung und seine fortschrittliche Gaszufuhrausrüstung optimiert den Gasfluss für maximale Effizienz und Gleichmäßigkeit während des Ätzvorgangs. Die fortschrittliche Gasversorgung unterstützt ein breites Spektrum an Gasen und kann einfach an verschiedene Prozesse angepasst werden. Das System verwendet sowohl Trocken- als auch Nassätzmethoden, um die Kundenanforderungen zu erfüllen. TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Tornado 300 ist eine zuverlässige und leistungsstarke Ätz-/Ascherlösung, die zur Verbesserung der Waferausbeute, der Verarbeitungszeit und der Prozessleistung beiträgt. Dieses Gerät ist sehr konfigurierbar für eine Reihe von Ätz- und Ascheanforderungen, so dass es eine ideale Wahl für die Halbleiterindustrie ist.
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