Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9316187 zu verkaufen
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ID: 9316187
Metal CVD system, 8"
Process: TiN
Main body
Power supply
Power rack
EDWARDS TDV4 System
(2) Traps
Cable
Panel
Accessories.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity ist eine Ätz-/Entwicklungsmaschine zur Herstellung von vollständig versiegelten Wafern. Dieses Werkzeug wird verwendet, um Material für das chemisch-mechanische Polieren zu mustern, zu ätzen und abzulegen. Sie ist in der Lage, Wafer mit einer ebenen Oberfläche zu versehen, die zur Herstellung fortgeschrittener Halbleiterbauelemente geeignet ist. Die Maschine ist in der Lage, hochauflösende Muster zu erzeugen, die die Entwicklung neuer Geräte ermöglichen. Es unterstützt sowohl das Nass- als auch das Trockenätzen, und sein Ätzmechanismus ermöglicht eine präzise Kontrolle der Form und Dicke der Materialschichten in den bearbeiteten Wafern. Darüber hinaus ermöglicht seine große Kammer highThrough-put. TEL Unity Ätzer besteht aus einer Hauptätzkammer und einer Vorätzkammer, die die Durchführung mehrerer Operationen im gleichen Zyklus ermöglicht. Innerhalb der Hauptkammer werden Ionen auf das Substrat gespritzt, um es zu ätzen. Die Hauptkammer ist ferner mit einem beweglichen Roboterarm ausgestattet, der dazu dient, Substrat von einer Kammer zur anderen einschließlich der Vorätzkammer zu übertragen. Das Substrat wird dann in die Hauptkammer geladen, wo der Ätzvorgang stattfindet. Der Ätzvorgang beginnt mit dem Einbringen eines Gasgemisches, wie CF4, in die Ätzkammer. Anschließend wird das Gasgemisch ionisiert und in Ionen zerlegt, die dann auf das Substrat geleitet werden. Die Ionen reagieren mit dem Substrat, um es zu ätzen und zu formen. Der Prozess kann so gesteuert werden, dass die Ätztiefe und der Seitenwandwinkel präzise sind. Nach Beendigung des Ätzens wird die Ätzlösung aus der Hauptkammer herausgespült. Der Wafer wird dann in eine Nachätzkammer überführt, die für nachgeschaltete Prozesse wie chemisch-mechanisches Polieren und Resistband verwendet wird. TOKYO ELECTRON Unity Ätzer ist ein ideales Werkzeug für die Entwicklung von Halbleiterbauelementen, da es Präzisionsätzfähigkeiten und einen highThrough-put bietet. Seine Fähigkeit, präzise und genaue Muster und Arten von Schichten zu produzieren, machen es zu einer idealen Wahl für die Entwicklung von hochmodernen Geräten.
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