Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Vigus harc #9244886 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus harc ist eine Art Ätzer/Ascher, die zum extrem präzisen Ätzen und Reinigen von wertvollen Substraten wie Halbleitern und anderen Dünnschichtmaterialien verwendet wird. TEL Vigus harc ist ein nassbasiertes System mit einem Inline-Design, das höhere Durchsatzgeschwindigkeiten, breitere Verarbeitungsfenster und eine bessere Einheitlichkeit gewährleistet. Die Maschine ist mit einer Zweivakuumätzkammer ausgelegt, die maximale Prozessflexibilität bei Ätz-/Reinigungsvorgängen bei vollständiger Isolierung jeder Prozesskammer ermöglicht. Dadurch wird sichergestellt, dass Dämpfe aus einem Arbeitsgang nicht auf den anderen übertragen werden, so dass empfindliche Substrate nicht durch Chemikalien oder Dämpfe beeinflusst werden, die bei der Verarbeitung in der anderen Kammer entstehen. TOKYO ELECTRON Vigus harc hat auch ein einzigartiges Richtungs-Axial-Flow-Design, das höhere Erträge durch die Fokussierung auf Gleichmäßigkeit garantiert, so dass Prozesse mit Präzision durchgeführt werden können. Dies wird durch eine gerichtete Strömung von Prozessflüssigkeit und Ätzgas entlang der Mittelachse der Kammer erreicht. Das Substrat wird dann in der Mitte der Kammer für maximale Gleichmäßigkeit und Anwendung der Ätz- oder Reinigungsprozesse positioniert. Die Maschine ist mit einer Vielzahl fortschrittlicher Funktionen für ihren Betrieb und ihre Sicherheit ausgestattet, wie eine Reaktorgasverteilungseinheit, Temperaturregelung, elektronisch betätigte Ventile, Inertgassteuerung mit einem externen Wäscher und ein Hochleistungs-Vakuumsystem. Die elektrisch verriegelbaren Türen an der Maschine sorgen für eine sichere und sichere Betriebsumgebung. Kurz gesagt, Vigus harc ist ein anspruchsvoller Ätzer/Ascher, der zum präzisen Ätzen und Reinigen von empfindlichen Substraten wie Halbleitern verwendet wird. Seine neuartige Dual-Vakuum-Ätzkammer, Richtungs-Axial-Flow-Design und erweiterte Funktionen machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für hohe Geschwindigkeit, gleichmäßige und sichere Ätz- und Reinigungsoperationen.