Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON VIGUS MASK #9241307 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON VIGUS MASK ist eine hochmoderne Ätzausrüstung von TEL. Es ist ein nicht standardmäßiges Lithographiesystem, das zur Herstellung von integrierten Schaltungen, Halbleiterbauelementen und anderen mikroelektronischen Bauelementen verwendet wird. Diese Einheit dient zum chemischen Ätzen von dünnen Filmen, zur Oberflächenvorbehandlung und für verschiedene chemische Behandlungen von Halbleitersubstraten. Es wird hauptsächlich für Musterätz- und Ätzbehandlungen von Halbleitermaterialien, einschließlich Metallen und Polysiliziumschichten, verwendet. Es wurde entwickelt, um Zeit zu sparen, Chemieabfälle zu minimieren und den Produktionsdurchsatz zu optimieren. TEL VIGUS MASK ist mit einer Hochleistungs-Kathodenstrahlröhre (CRT) ausgestattet, die der Hauptbestandteil der Maschine ist. Dieses CRT projiziert die fotolithographische Maske auf den Wafer in minutengenauen Details. Die Fotomaske besteht aus einem undurchsichtigen Material wie Chrom und ist mit einem Bild der gewünschten Gerätestruktur strukturiert. Die Maske wird durch eine spezielle Halterung gehalten, und das CRT projiziert ein helles Licht durch die Maske und auf den Wafer. Die Intensität des projizierten Lichts variiert in Abhängigkeit von den optischen Eigenschaften der Maske, wodurch eine genaue Steuerung der in den Wafer geätzten Muster ermöglicht wird. TOKYO ELECTRON VIGUS MASK ist mit einer ultravioletten Lichtquelle ausgestattet, die zur Aushärtung des Photolacks und für andere chemische Behandlungen verwendet wird. Es kann auch zur Reinigung und Deinstallation des Wafers und zur Vorbehandlung vor dem Ätzen verwendet werden. Darüber hinaus ist VIGUS MASK mit einer Ätzsoftware konfiguriert, mit der Anwender Ätzprozessparameter wie Verweilzeit, Wafertemperatur und Ätzkonzentration anpassen können. Darüber hinaus ist TEL/TOKYO ELECTRON VIGUS MASK mit einer rückseitig gesputterten Aluminiumkammer ausgelegt, die zusätzlichen Schutz vor äußeren Kontaminationen bietet. Es wird auch mit einer isolierten Oxidfilmschicht ausgestattet, die durch einen reaktiven Ionenätzer hergestellt wird, der hilft, die Dünnfilmschichten beim Ätzen vor Oxidation zu schützen. Dieses Tool ist so konzipiert, dass es extrem zuverlässig und effektiv ist und erweiterte Ätzfunktionen bietet und gleichzeitig giftige Emissionen und Abfälle minimiert. Abschließend ist TEL VIGUS MASK eine hochpräzise Ätzanlage mit einer breiten Palette von Funktionen und Funktionen. Dieses Modell eignet sich perfekt für den Einsatz in der Halbleiterherstellung und ermöglicht das genaue und effiziente Ätzen verschiedener dünner Filme und mikroelektronischer Komponenten. Dieses Gerät ist außerdem kostengünstig und bietet eine Reihe von Funktionen, die dazu beitragen, Abfall zu reduzieren und den Durchsatz zu maximieren.