Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Vigus Nest #293585745 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus Nest ist ein Trockenätzwerkzeug für die Waferbearbeitung für Anwendungen in der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie. Es ist ein Hochleistungswerkzeug für trockene Prozesse wie Ätzen und Abscheiden. TEL Vigus Nest ist in der Lage, Silizium, Germanium, Polysilizium und eine Vielzahl anderer Materialien zu ätzen. Das Werkzeug ist mit zwei Hauptkammern ausgestattet, einschließlich der Hauptätzkammer und der Lastschließkammer. Die Hauptkammer enthält die oberen und unteren widerstandsbeheizten Platteneinheiten, während die Ladekammer eine einzige widerstandsbeheizte Platteneinheit aufweist. Die Heizplatteneinheit kann verwendet werden, um beide Seiten eines Wafers in einem Losverfahren zu ätzen, wodurch der Durchsatz steigt. Dieses System ist auch in der Lage, Temperatur und Substratstabilität zu steuern, um wiederholbare Ergebnisse zu erzielen. TOKYO ELECTRON Vigus Nest verwendet auch ein mehrstufiges, mehrzoniges HF-Plasmatron mit einem unabhängigen Steuerungsprozessor, der eine präzise und Kontrolle der Plasmaleistungsdichte und Ätzbedingungen ermöglicht. Das Werkzeug hat insgesamt acht HF-Plasmatrone, mit einer maximalen Leistung von 25kW. Es hat auch drei Gasinjektoren, die in gepulsten, konstanten Strömungs- und geschlossenen Massenstromregelmodi betrieben werden können. Dies ermöglicht Flexibilität im Ätzprozessdesign, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Das Tool kommt auch mit Software für Rezeptentwicklung, Leistungsüberwachung und Betriebssystemdiagnose, so dass Benutzer die Fähigkeiten von Vigus Nest zu maximieren. Die Software ermöglicht eine einfache Programmierung auch für komplexe Ätzprozesse und bietet eine umfassende Datenpflege zur einfachen Referenz. Benutzer können auch die Ätzdaten und andere Prozessparameter verfolgen und wertvolle Erkenntnisse und Feedback zur Optimierung des Ätzprozesses liefern. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON Vigus Nest ein vielseitiges Ätzwerkzeug, das sich für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie eignet. Es bietet eine hervorragende Kontrolle und Wiederholbarkeit, um genaue Ätzprozesse mit hohem Durchsatz zu ermöglichen. Die umfassende Software bietet eine umfassende Plattform zur Optimierung und Datenpflege, um Anwendern zu optimalen Ergebnissen zu verhelfen.