Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Vigus QN #293666858 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus QN ist ein Ätzgerät, das für die Verarbeitung von fortschrittlichen Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es basiert auf TEL VIGUS-Methode der direkten Schreiblithographie und ist mit einer Vielzahl von Verfahren ausgestattet, einschließlich Einzelwafer-Trockenätzen, Mustern und Beschichtungen. Das System wurde entwickelt, um eine große Palette von Präzisionsätzoperationen auf einer Vielzahl von Substraten wie Silizium, Edelstahl, komplexen Materialien und anderen durchzuführen. Das fortschrittliche Direct-Write-Lithographieverfahren nutzt Elektronenstrahlmuster, um sehr hohe Präzision, wiederholbare und hochkonfigurierbare Muster auf dem Substrat zu erzeugen. Dies bietet eine außergewöhnliche Genauigkeit und Wiederholbarkeit auch bei sehr hohen Seitenverhältnissen. TEL Vigus QN wurde mit einem großen 4-Spur-Mustergenerator entwickelt, um einen schnellen Durchsatz zu ermöglichen. Dies ermöglicht das gleichzeitige Ätzen verschiedener Substrate, was die Produktivität erhöht. Es ist auch mit einer fokussierten Ionenstrahl (FIB) -Quelle entworfen, um höhere Ätzgenauigkeit zu bieten und kann für eine Vielzahl von Standorten nach der Verarbeitung Module wie Abscheidung, Ätz- und Opferschichten verwendet werden. TOKYO ELECTRON Vigus QN enthält auch eine Reihe von Funktionen, um eine verbesserte Ätzprozesssteuerung bereitzustellen. Dazu gehören eine präzise Drucksteuereinheit, eine robuste Vakuummaschine, ein Temperaturrückkopplungs-Kontrollwerkzeug und eine geschlossene Prozessüberwachung, um ein konsistentes Ätzergebnis auf verschiedenen Substraten sicherzustellen. Das Modell umfasst auch eine Reihe von Hardware- und Softwarelösungen zur Erleichterung der Datenanalyse, Überprüfung und Entscheidungsfindung. Zusammenfassend ist Vigus QN eine fortschrittliche Ätzausrüstung, die entwickelt wurde, um Präzisionsätzfunktionen für eine breite Palette von Substraten bereitzustellen. Es verwendet Lithographie mit direktem Schreibzugriff, die präzise, wiederholbare und hochgradig konfigurierbare Muster ermöglicht. Es ist mit fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, um ein hochpräzises Ätzen sowie eine Vielzahl weiterer Werkzeuge und Funktionen zu erreichen, um einen effizienten und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten.