Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #293829838 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus, produziert von Japans führendem Hersteller für Ätz- und Aschemaschinen, ist eine Hochleistungs-Ätz-/Aschemaschine, die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Dieses System besteht aus zwei Modulen: einem Vakuumkrümmer und einer Heiz-/Führungseinheit. Der Vakuumkrümmer umfasst eine Vakuumkammer, die eine Anordnung von Prozessgasdüsen enthält, und eine Vakuumeinheit, die die genaue Steuerung von Druck und Hintergrundgas in der Kammer ermöglicht. Die Heiz-/Führungseinheit besteht aus einer Hochleistungsheizung und einer Waferstufe zur präzisen Führung und Steuerung des Wafers beim Ätzen und Aschen. Diese beiden Module erzeugen eine zuverlässige und wiederholbare Ätz-/Ascheumgebung, die für hohe Erträge sorgt. TEL Vigus bietet eine hohe Ätzrate und einheitliche Reinigungsergebnisse, die eine fortschrittliche Halbleiterverarbeitung ermöglichen. Sein Design ist in der Lage, qualitativ hochwertige Oxid- und Nitridfolien abzuscheiden, auf enge Spalten in Small-Pitch-Schaltkreisen zuzugreifen und qualitativ hochwertiges Aschen zu liefern. Diese flexible Maschine bietet Platz für Substrate verschiedener Größen, von 200mm-Wafern bis hin zu ultra-kleinen Chips. TOKYO ELECTRON Vigus bietet auch Echtzeit-Überwachung der Wafer Oberflächentemperatur und Ätz-/Ascheraten. Es enthält auch ein Steuerungs- und Analysetool zur Überwachung von Prozessparametern und eine verbesserte Prozesssteuerung für den automatisierten Betrieb. Dies gewährleistet genaue Prozessergebnisse. Vigus bietet ein Anoden- und Kathodenkammerdesign, das das fortschrittliche Ionenstrahlätzen und das Plasmaveraschen mit hoher Dichte unterstützt. Es bietet eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit über verschiedene Substratgrößen und ermöglicht eine enge Prozesskontrolle. Es unterstützt auch eine Reihe von verschiedenen Herstellungsprozessen, einschließlich Trockenfilmabstreifen, Überätzen und Metalllinienätzen. Darüber hinaus sorgen seine Sicherheitsmerkmale für Konsistenz und Zuverlässigkeit im Betrieb und tragen zum Schutz der Prozesskontrolle bei. TEL/TOKYO ELECTRON Vigus wird in einer Vielzahl von Branchen eingesetzt, darunter Halbleiter, Nanotechnologie und Biotechnologie. Dieses Etcher-Asher-Asset liefert ausgezeichnete Ätz- und Ascheergebnisse und bietet Anwendern höhere Erträge und Prozesseffizienz. Seine Zuverlässigkeit und Sicherheit machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.