Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Vigus #9235079 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus ist ein Ätzer oder Ascher, der optimale Leistung, Präzisionskontrolle und vielseitige Anwendung bietet, indem er fortschrittliche Ätz-/Aschekonzepte mit einer Vielzahl von technologischen Innovationen von TEL kombiniert. Die Plattform des TEL Vigus Ätzers besteht aus einem Grundrahmen, einer Vakuumkammer, einer Ätzkammer und einer Steuereinheit. Der Grundrahmen beherbergt die Kammer und Steuereinheit und sorgt für mechanische Stabilität und ein robustes Fundament. Die Kammern sind für eine präzise Temperatur- und Druckregelung sowie für eine präzise gleichmäßige und wiederholbare Ätz-/Aschebearbeitung ausgelegt. Das Steuergerät enthält eine Vakuumpumpe, einen Temperaturregler, Prozessüberwachungssysteme und Rezepte sowie eine SPS zur Steuerung von Prozessparametern und Leistung zum Ätzer. TOKYO ELECTRON Vigus verfügt über 6 Prozessgase, die mit präzisen Durchflussraten, Geschwindigkeiten und Drücken in die Prozesskammer geliefert werden können. Dadurch ist es möglich, die Ätz-/Aschebearbeitung genau zu steuern und bei der Bearbeitung mehrerer Wafer gleichzeitig eine enge Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit zu erreichen. Zur visuellen Inspektion des Prozesses ist ein Quarz-Viewport vorgesehen. Vigus integriert auch viele zusätzliche Prozesse und Funktionen. Um die Wiederholbarkeit des Prozesses sicherzustellen, steht ein Stapelmechanismus für die Waferspeicherung, das Be- und Entladen zur Verfügung. Die Messtechnik in situ ermöglicht eine präzise Prozesssteuerung ohne zusätzliche externe Messtechnik. Prozessrezepte können schnell angepasst und von einem PC über eine RS232C Schnittstelle übertragen werden. Die Vakuumkammer von TEL/TOKYO ELECTRON Vigus ist mit einer Differentialpumpe ausgestattet. Dies ermöglicht schnelle Abpumpzeiten und eine sehr stabile Niederdruckumgebung. Die Umweltkammer kann maximal 200mm Substrate aufnehmen, und eine optionale Large Batch Plate (400mm) kann hinzugefügt werden. Dies bietet TEL Vigus die Flexibilität, eine breite Palette von Substraten zu verarbeiten. TOKYO ELECTRON Vigus ist ein zuverlässiger, präziser Ätzer/Ascher, der in der Lage ist, eine breite Palette von Substraten zu verarbeiten. Es bietet ein hohes Maß an Prozesskontrolle und Einheitlichkeit, so dass Benutzer ihre gewünschten und wiederholbaren Prozessergebnisse erzielen können.