Gebraucht TES / TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT #293595225 zu verkaufen
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ID: 293595225
Weinlese: 2012
Dry etcher
(4) Load ports
BROOKS AUTOMATION Robot
2012 vintage.
TES/TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT Ätzer/Ascher ist eine Präzisions-Waferbearbeitungsanlage, die in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es bietet eine genaue und wiederholbare Ätz- und Prozesskontrolle, die speziell auf die Anforderungen moderner Produktionsanwendungen zugeschnitten ist. TES CUMAX-FT bietet überlegene Ätz- und Prozesskontrolle mit zuverlässiger Wiederholbarkeit. Es ist in der Lage, qualitativ hochwertige Ätzergebnisse mit verbessertem Durchsatz und geringeren Betriebskosten zu liefern. TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT kann Wafer bis zu 4 "in der Größe verarbeiten und hat einen einstellbaren Ätzspalt von 0-20 μ m für eine überlegene Prozesssteuerung. Sein verbessertes Design umfasst mehrere Ätzwinkel, um konsistente Ätzergebnisse zu liefern und Fehler zu reduzieren. Es hat auch die Fähigkeit, eine Vielzahl von Ätzprozessen zu handhaben, einschließlich Trockenätzen, Siliziumätzen und dielektrischen Ätzprozessen. Die Ätzkammer von CUMAX-FT ist mit einem geringen Volumen und einem hohen Vakuumeinschluss gebaut, was eine homogene gleichmäßige Ätzrate gewährleistet. Seine automatisierte Kammerreinigungsfähigkeit reduziert erforderliche Wartungszyklen, verbessert die Prozesswiederholbarkeit und die Gesamteffizienz. Es ist auch mit mehreren Druck- und Temperatursensoren zur präzisen Steuerung von Prozessparametern ausgestattet. TES/TECHNOLOGY ENGINE OF SCIENCE CUMAX-FT ist auch mit einer benutzerfreundlichen Steuerung ausgestattet, die eine einfache Einrichtung und Bedienung ermöglicht. Es verfügt über fortschrittliche Prozesssteuerungsalgorithmen für verbesserte Produktionsergebnisse und ist für die Implementierung von Prozessrezepten für den schnellen Übergang in die Produktion bekannt. Darüber hinaus verfügt das System über Kommunikationsschnittstellen-Ports für PC-Fernsteuerung und Offline-Datenlogging-Funktionen. TES CUMAX-FT ist ein zuverlässiger Ätzmotor, der sich ideal für hochpräzise Anwendungen eignet. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und zuverlässige Wiederholbarkeit machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Produktionsumgebungen. Darüber hinaus eignet es sich aufgrund seiner Benutzerfreundlichkeit für die Integration in jeden F&E- oder Produktionsaufbau.
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