Gebraucht TOK OAPM-301B #9111751 zu verkaufen
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TOK OAPM-301B ist eine Hochleistungs-Ätz-/Aschemaschine, die für den Einsatz in einer Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde, die ein präzises Ätzen/Aschen von Substraten erfordern. Es verfügt über ein modernes Design mit einem kompakten, einfach zu bedienenden System, das sowohl für den manuellen als auch für den automatisierten Betrieb geeignet ist. OAPM-301B wurde entwickelt, um ein schnelles Ätzen und/oder Aschen von Substratmaterialien zu ermöglichen, und verfügt über eine überlegene Wiederholbarkeit für konsistente Ergebnisse. TOK OAPM-301B ist mit einem Hochleistungs-Plasmaätzer ausgestattet. Die Stromquelle ist in der Lage, eine breite Palette von Leistungseinstellungen zur Anpassung an die Ätz- oder Ascheanwendung zur Verfügung zu stellen, wodurch eine optimale Leistung auf einer Vielzahl von Substraten bereitgestellt wird. Dieser Ätzer bezieht inerte Atmosphäre aus einer separaten Quelle und mischt sie beim Ätzen oder Aschen mit dem Plasma. Die Plasmaleistung kann von 0 bis 600 Watt eingestellt werden, wodurch diese Einheit sowohl für leichte als auch schwere Ätz- oder Ascheanwendungen gut geeignet ist. OAPM-301B verfügt über einen temperaturgesteuerten Substrathalter und eine in sich geschlossene Quad-Level-Vakuumkammer, die schnelle Zykluszeiten und eine gleichmäßige Evakuierung der Ätz- oder Ascheumgebung ermöglicht. Diese Vakuummaschine wird durch ein Wasser/Glykol-Werkzeug temperiert und gehalten, um eine optimale Leistung und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Die Kammer weist einen niedrigen Druckbereich von 0 bis 10 mbar absolut und einen weiten Frequenzbereich von 0 bis 10kHz auf. Das Asset ist einfach zu bedienen, mit einer intuitiven Benutzeroberfläche und klar beschrifteten und organisierten Bedienungsknöpfen und Tasten. Eine Vielzahl optionaler Add-ons sind ebenfalls verfügbar, darunter ein automatischer Türöffner/Schließer, ein automatisiertes Operationsmodell, benutzerprogrammierbare Rezepte und automatische Rührfunktionen. All diese Eigenschaften machen TOK OAPM-301B zu einer ausgezeichneten Wahl für Präzisionsätz- oder Ascheanwendungen.
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