Gebraucht TOKYO OHKA KOGYO TCE-2400 #293811577 zu verkaufen

TOKYO OHKA KOGYO TCE-2400 ist eine Hochleistungs-Ätzer/Ascher-Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie für verschiedene Anwendungen wie Photoresist Strippen, Descum und Oberflächenreinigung weit verbreitet ist. Diese vielseitige Ausrüstung bietet fortschrittliche technologische Fähigkeiten, um die anspruchsvollen Anforderungen der heutigen Halbleiterherstellungsprozesse zu erfüllen. TCE-2400 ist ein Plasmaätzsystem, das nach den Prinzipien des reaktiven Ionenätzens (RIE) und Plasmaaschens arbeitet. Es besteht aus mehreren Schlüsselkomponenten, einschließlich einer Vakuumkammer, Gasfördereinheit, HF-Stromversorgung und Bedienfeld. Die Vakuumkammer ist so ausgelegt, dass sie eine kontrollierte Umgebung für die Plasmabearbeitung bietet, während die Gasfördermaschine eine präzise Steuerung der Gasflussraten und -zusammensetzungen ermöglicht. Die HF-Stromversorgung erzeugt das Plasma, indem hochfrequente HF-Leistung auf das Gasgemisch angewendet wird, und das Bedienfeld ermöglicht es dem Benutzer, Prozessparameter einzustellen und zu überwachen. Eines der Hauptmerkmale von TOKYO OHKA KOGYO TCE-2400 ist sein robustes Plasmaerzeugungswerkzeug, das ein hochreaktives Plasma erzeugen kann, das zum Ätzen und Aschen verschiedener Materialien wirksam ist. Die Anlage ist in der Lage, eine breite Palette von Prozessgasen zu handhaben, einschließlich Sauerstoff, Gase auf Fluorbasis und andere reaktive Gase, die üblicherweise in der Halbleiterverarbeitung verwendet werden. Diese Flexibilität ermöglicht die Anpassung von Prozessrezepten, um optimale Ergebnisse für verschiedene Anwendungen zu erzielen. Im Hinblick auf die Prozessfähigkeit bietet TCE-2400 ein hohes Maß an Prozessgleichmäßigkeit und -kontrolle und eignet sich somit sowohl für Forschungs- als auch für Serienumgebungen. Das Modell kann präzise Ätztiefen und Selektivität zwischen verschiedenen Materialien erreichen und ist somit ideal für Muster- und Geräteherstellungsprozesse geeignet. Zusätzlich können TOKYO OHKA KOGYO TCE-2400 für Photoresist Stripping und Descum Prozesse verwendet werden, wodurch unerwünschte organische Rückstände von Substratoberflächen entfernt werden können. TCE-2400 ist mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um den Schutz der Bediener und die Integrität des Prozesses zu gewährleisten. Das Gerät ist mit Verriegelungen und Alarmen ausgelegt, um unbefugten Zugriff zu verhindern und Benutzer bei anormalen Bedingungen zu warnen. Darüber hinaus ist das System mit Gasflussüberwachungs- und Druckregelungsmechanismen ausgestattet, um stabile Prozessbedingungen aufrechtzuerhalten und Gasaustritte zu verhindern. Die Wartung von TOKYO OHKA KOGYO TCE-2400 ist relativ einfach, mit routinemäßigen Reinigungs- und Serviceverfahren empfohlen, um eine optimale Leistung und Langlebigkeit der Einheit zu gewährleisten. Die regelmäßige Kalibrierung kritischer Komponenten wie Gasstromregler und Drucksensoren ist für die Aufrechterhaltung der Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit unerlässlich. Der Hersteller bietet umfassenden technischen Support und Schulungen, um Anwender bei der Optimierung ihrer Prozesse und der Problembehandlung zu unterstützen. Abschließend ist TCE-2400 eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine, die erweiterte Funktionen für Halbleiterverarbeitungsanwendungen bietet. TOKYO OHKA KOGYO TCE-2400 ist mit seiner vielseitigen Bedienung und seinem robusten Design ein zuverlässiges Werkzeug zum präzisen und gleichmäßigen Ätzen, Aschen und Reinigen von Halbleiterbauelementen und -materialien. Dank seiner benutzerfreundlichen Schnittstellen- und Sicherheitsfunktionen ist es eine ideale Wahl für Forschungs- und Produktionsumgebungen in der Halbleiterindustrie.