Gebraucht TOKYO OKA / TOK OPM 1200 #9269154 zu verkaufen

TOKYO OKA / TOK OPM 1200
ID: 9269154
Plasma asher.
TOKYO OKA/TOK OPM 1200 ist ein Ätzer/Ascher für die Entwicklung von Photomasken. Es ist ein säurefreies Hochdruckgerät, das für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen zusätzliche Geschwindigkeit und Präzision bieten kann. TOK OPM 1200 verwendet ein Mehrprozessorsteuerungssystem, das mehrachsiges Ätzen zwischen Schichten ermöglicht. Das Gerät spart Zeit und verbessert die Produktausbeuten, indem es die Anzahl der Ätzschritte reduziert, Ausfallzeiten zwischen den Prozessen reduziert und die Handhabung des Substrats reduziert. TOKYO OKA OPM 1200 verfügt über eine große Einweg-Tragfähigkeit und eignet sich somit gut für Serien- und Massenfertigungslinien. Die Maschine kann verwendet werden, um Substrate wie Polyimid, Glas, Silizium, etc., bis zu 12 Zoll (300 mm) Größe zu ätzen und kann verschiedene Dicken des Zielmaterials mit Raten von 0,4 bis 3,0 Zoll pro Minute (1,0 μ m bis 8,0 μ m pro Minute) ätzen. Das Tool verfügt über einen ausgeklügelten digitalen Prozessor und eine SPS-Steuerung sowie einen 8-Achsen-Stromabnehmer X-Y-Z- θ - θ Drehachsbewegungsmodell, der präzise und wiederholbare Ätzmuster ermöglicht. OPM 1200 verfügt über eine patentierte Steuereinrichtung, die vier Zeitgeberschaltungen und einen Servomotor verwendet, um Ätzraten, Winkel, Tiefen und Überlappungen zwischen den Schichten genau zu steuern. Dies gewährleistet Gleichmäßigkeit und Genauigkeit bei gleichzeitiger Minimierung falscher Ätztiefen und Schichtübergänge. Das System kann auch mit einer optionalen optischen Inspektionseinheit für zusätzliche Zuverlässigkeit konfiguriert werden. Der einstellbare Druck ermöglicht Hochgeschwindigkeits-, aber niedrigen Druck (maximal 17,5 kgf/cm2) Ätzungen, und die hohe Energieeffizienz Design minimiert den Einsatz von Chemikalien und die gesamte Umweltbelastung. Die Maschine verfügt auch über ein Sicherheitsgehäuse, das die Bildung von korrosiven und gefährlichen Atmosphären verhindert, und die versiegelten Mikrocleanfilter sind einfach zu warten. Das AC-freie Design reduziert das Risiko von Stromschlägen erheblich und eingebaute Sicherheitsmaßnahmen wie ein Not-Aus-Knopf schützen die Bediener vor Verletzungen. Damit bietet TOKYO OKA/TOK OPM 1200 eine sichere und effiziente Ätz- und Aschelösung für eine Vielzahl von Materialien und Produktanwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor