Gebraucht TOKYO OKA / TOK OPM2001CN #9055154 zu verkaufen

TOKYO OKA/TOK OPM2001CN ist ein Ätzer/Ascher, der für eine Vielzahl von Anwendungen in der Mikroelektronikindustrie konzipiert ist. Es handelt sich um eine halbautomatische Ausrüstung, bestehend aus einer Vakuumverarbeitungskammer und einer Steuerung. Die Vakuumverarbeitungskammer enthält vier Heizzonen und zwei Kühlzonen und eine Ätz- und Aschekammer zur Bearbeitung von Wafern und Substraten bis 8 Zoll Durchmesser. Die Steuereinheit umfasst eine programmierbare Logiksteuerung (SPS) und eine Bedienoberfläche. Dieser Ätzer verwendet Stickstoff, Argon und Sauerstoffgas je nach verarbeitetem Material. Die Temperatur der Ätz- und Aschekammer kann zwischen 20 und 300 Grad Celsius eingestellt werden, wobei das Ätzgas zwischen 100 und 500 sccm liegt. Die Temperatur und der Druck der Kammer können durch verschiedene Sensoren in der Maschine überwacht werden, um optimale Bearbeitungsbedingungen zu gewährleisten. Wafer und Substrate werden in die Beladestation des Werkzeugs geladen, bevor die Vakuumbearbeitungskammertür geschlossen wird. Die Tür wird vor Beginn des Ätzens durch eine Vakuumpumpe abgedichtet. Die Innentemperatur der Kammern innerhalb der Ätz- und Aschekammer wird von der SPS überwacht und gesteuert, was eine optimierte Ätzrate und Produktqualität ermöglicht. Nach Abschluss des Ätzprozesses werden die Vakuumpumpen ausgeschaltet, so dass die Wafer und Substrate sicher aus der Anlage entladen werden können. Die Vakuumpumpen müssen abgeschaltet werden, um sicherzustellen, dass die Kammer unter Druck steht und keine giftigen Stoffe in die Arbeitsumgebung freigesetzt werden. Die Abgasstufen werden von den eingebauten Sensoren und Systemen überwacht. Überschreiten die Abgaswerte einen vorgegebenen Grenzwert, warnt das Modell den Bediener. TOK OPM2001CN wurde entwickelt, um ein zuverlässiges und effizientes Werkzeug für Unternehmen zu sein, die qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheergebnisse auf einer Vielzahl von Materialien benötigen. Die Ausrüstung ist mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, die sicherstellen, dass das System sicher arbeitet und giftige Stoffe nicht in die Arbeitsumgebung freigesetzt werden. Die benutzerfreundliche Bedienoberfläche ermöglicht schnelle und genaue Anpassungen des Ätz- und Ascheprozesses und ermöglicht eine schnelle und effiziente Verarbeitung.